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枚叶式多腔体溅镀系统
- 品牌：毅睿/芯壹方
- 型号： 定制 详情15345079037
- 产地：福建 厦门
- 供应商报价：面议
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厦门毅睿科技有限公司
更新时间：2025-02-17 14:25:22 -
销售范围售全国
入驻年限第1年
营业执照已审核
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详细介绍
枚叶式多腔体溅镀系统
Cluster Multi-Chambers Sputter System
●腔体:Loading,Transfer, 2 x Sputters
●基板尺寸:3”-6”Wafer or或其他尺寸
●溅镀源:6x3”Cathodes
●溅镀材料:Mo，ITO,ZnO ,AZO ... etc.,
●自动传输制程
●可增加至5x Chambers
沪公网安备 31011502008050号