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高真空 8”Wafer Cluster 多腔体自动传输蒸镀/溅镀系统
- 品牌：毅睿/芯壹方
- 型号： 定制 详情15345079037
- 产地：福建 厦门
- 供应商报价：面议
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厦门毅睿科技有限公司
更新时间：2025-02-17 14:25:22 -
销售范围售全国
入驻年限第1年
营业执照已审核
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详细介绍
高真空 8”Wafer Cluster 多腔体自动传输蒸镀/溅镀系统
Description:
●Cluster 多腔体:Plasma Cleaning, Thermal/E-Beam Evaporator , Sputter ... etc.,
●基板:多片/单片6-12 Inch,5 x5 cm，10 x10cm或其他尺寸
●单片，多片承载装置Cassettes,可程式自动选择及传输
●载台:加热Max.600℃ 及RF 偏压装置
●自动传输，自动制程设定...etc.,
●4 x 6-8 Inch Sputter Cathodes,RF/DC/Bias Plasma Generators.
沪公网安备 31011502008050号