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全自动分选机 RX3000

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详细介绍

 RX 3000/睿芯3000(自动分选机)

1、 System Capability

XY Placement:                  ±50μm

Angular Placement:              ±5°

2、 Material Hand领 Capability

Die Size:                        7mil×7mil-200mil×200mil

3、 Facilities Required

Voltage:                         220VAC

Frequency:                       50Hz

Compressed Air:                  Min.5 bar

Flow rate:                        250LPM@5 bar

Power Consumption:              -1500W

4、 Dimension

Weight                       2000kg

W×D×H:                         2300×1500×1800mm

      


产品优势
支持脆弱芯片取放,可处理薄至50微米厚度的芯片;
附加AOI功能,更省人工;
支持多种载具(蓝膜、芯片盒等)自动点数芯片,确保芯片分选极ng准GX;
支持12寸晶圆分选。
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