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中小型多功能等离子体清洗机PLUTO-30

品牌：上海PLUTOVAC
型号： PLUTO-30
产地：上海浦东新区
供应商报价：面议

上海沛沅仪器设备有限公司更新时间：2024-04-16 13:23:12

销售范围售全国

入驻年限第6年

营业执照已审核

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中小型多功能等离子体清洗机PLUTO-30 核心参数

样品腔尺寸	300W x 280H x 366Dmm	样品腔容积	30L
射频功率	300W/500W	频率	13.56MHz

产品特点

ZL气体输送系统，提供气体分配均匀性和灵活的气体分配方法
不同工艺模式（RIE、下游等离子体等）的柔性电极配置
独特的射频系统提供zhuo越的工艺重复性和处理效率
全自动处理能力
图形用户界面支持配方编辑器、配方驱动流程并提供实时流程信息
台式设计需要较小的占地面积

详细介绍

中小型多功能等离子体清洗机PLUTO-30

中小型量产级多功能

Pluto30是专为研发而设计的全功能等离子体系统，13.56MHz射频发生器和自动匹配网络电源在整个过程区域产生均匀的等离子体。Pluto 30的真空腔可支持多达7个可调节样品架，以容纳各种形状尺寸的样品。Pluto30具有多种电极设置，可配置成RIE和PECVD模式，从而扩大了该系统的应用范围，提供给用户无与伦比的灵活性。

Pluto30参数
腔体	腔体尺寸	300W x 280H x 366Dmm
	容量	30L
	电极数量	最多可达7层
电极	电极间隙	48mm
	功率电极尺寸	226W x 210D mm
	接地电极尺寸	260W x 210D mm
射频系统	射频功率和频率	300W/13.56MHz
气体控制	MFC控制器	标配1个MFC，最多4个MFC控制器
系统控制	7寸工业触控屏	全数字控制，实时显示工作状况，可设定操作权限和各种报警值，可储存工艺方案
真空泵系统	油泵	32m³/h
真空泵系统	功率	220V/10A，50Hz，单相，3线
尺寸	外形尺寸	706W x 804D x 735H mm
特别装置需求	工艺气体	0.25英寸. 气管快接.适用于 15-20psig;
	净化气	0.25英寸. 气管快接. 适用于10-100psig
	CDA	0.25英寸. 气管快接. 适用于60-90psig
	排气接口	KF40
可选项	液体前驱体输送系统
	500W/13.56MHz射频系统
	37m³/h 干泵
	排气洗涤器
	油雾消除器