精密温控型多功能LIV光谱功率积分测试系统

 VCSEL（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，垂直共振腔表面放射激光）技术目前在在人脸识别、3D感测、汽车自动驾驶、手势侦测和VR(虚拟现实)/AR(增强现实)/MR(混合现实等应用领域越来越受到关注，莱森光学®可以为客户提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF检测解决方案：LIV光谱/功率积分测试、NF近场特性测试、FF远场特性测试、BRDF/BTDF光学材料AR/VR特性测试、VCSEL专用积分球,实现对VCSEL单体、模组、及晶圆芯片的能量分布和均匀性测量、光谱波长及功率测量、近场远场测量等各种定制化应用需求。

        LS-VCS-SCI-LIV精密温控型LIV光谱功率积分测试系统由莱森光学专门针对基于3D-SENSING 脉冲激光LIV光谱测试研发而成，特别适合晶圆和模组封装用户在实验室对VCSEL/LD的研发使用，用于验证VCSEL/LD各个工艺过程中的光电特性。实现对VCSEL/LD单体、模组、及芯片的LIV、EIV、TIE、PCE、光谱波长及功率测量等。

       LS-VCS-SCI-LIV精密温控型多功能光谱功率积分测试系统专门针对基于3D-SENSING 脉冲激光、脉冲LD/LED测试研发而成，该系统可用于对VCSEL、LD/LED光电特性检测，以保证VCSEL、LD/LED脉冲激光辐射光谱满足器件光学功能和IEC-60825-2激光安全-人眼安全应用需求。

主要功能特点

● 强大的专用软件分析功能，可以扫描测量LIV曲线，PCE曲线，温度-峰值波长-光功率曲线，可设置扫描精度和速度，可测量光电转换效率，自动保存测试数据

● 高精度光学分辨率光谱仪光谱范围400-1100nm可选，光谱分辨率0.1nm，实现光谱峰值波长和半高全宽（FWHM）测量，最快可实现2kHz采样速率，可扫描测量温度-峰值波长-功率曲线等

● 手动或全自动探针平台，可实现对晶圆或模组的自动化LIV光谱功率测试

● 可对样品精确控温，可设置扫描步长，可实现高速同步触发，可预设/自定义测量

● 多线程联用（大功率高精度电流源、高精度高速数字万用表、多通道同步数字万用表、功率探头、光谱仪、温度控制器等），可以实现光谱、功率、电流、温度等参数的程序化、自动化扫描测量

● 一体化工控机箱，高分辨液晶显示，自动化集成化操作软件

● 采用四线测量方法，实时记录实测电流、电压值，功率值，测试更准确

● 程序可设置连续及脉冲扫描两种模式

● 寿命老化检测功能：在恒定或脉冲条件下（电流、温度），每隔指定时间间隔测试记录一次光谱和功率数据

LIV测试软件界面

VCSEL光谱随电流的变化

LIV、I-V、I-L 扫描曲线

温度、峰值波长、光功率扫描曲线

主要技术指标