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德国LAUDA POU 热电过程恒温器
- 品牌：德国LAUDA
- 型号： POU
- 产地：欧洲 德国
- 供应商报价：面议
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劳达贸易(上海)有限公司
更新时间：2020-09-04 13:15:50 -
销售范围售全国
入驻年限第9年
营业执照已审核
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产品特点
- 与基于压缩机的系统相比，通过在使用地点 (POU) 使用温度控制系统，降低能耗多达 90 %。可安装在使用地点的地下，非常节省空间，这样zui大限度地减少无尘室的使用。快速和极ng准地将过程温度曲线控制在 ±0.1 °C，从而提高晶圆间均质性。
详细介绍
热电过程恒温器适用于 -20 至 90 °C 的半导体行业
热电使用地点 (POU) 温度控制系统完成等离子刻蚀应用中可复制的温度调节。此系统确保静电硅片夹 (ESC) 的动态温度调节，并且可与所有类型的刻蚀工艺结合使用。成熟和已知的珀耳帖元件传热原理是热电温度调节系统 LAUDA-Noah POU 的基础。使用此元件可快速、准确调节温度，这正是不断缩小部件高要求生产过程需要的。
技术参数
POU 3300 POU 3500 zui小工作温度 -20 °C -20 °C zui大工作温度 90 °C 90 °C 20 °C 时的制冷功率 1.2 kW 2.5 kW 
沪公网安备 31011502008050号