氢气杂质分析质谱仪（H2 Impurities Analyzer）

美国P+E 公司研发制造的的HEMS 氢气杂质分析质谱通过ZL的氢气杂质分离技术，实现对这些杂质的行即时识别和定量分析，实时检测浓度可低至ppb，完全无需样品准备，直接在线监测，非常适用于在商业、工业和科研环境中操作。

HEMS可支持多种解决方案：
1.氢气燃料检测--符合美标 SAEJ2719/ISO14687-2
2.半导体行业EPI过程气体检测 -- 优化支持MOCVD 用气质量的监测
3.核电分离气检测对核电反应堆的氚水进行吹扫还原气的纯度监控

技术参数：