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纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒

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产品特点

提供各种纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒,为工业和科研提供低成本的纳米光子学研究。基板可用于光学、生物学、化学、物理学(例如中子散射)、聚合物研究、纳米压印、微流体等各种应用。如果需要,可以用金属或介电涂层涂覆基底。大多数表面特征具有略微梯形的横截面轮廓,具有直平行台面和沟槽。也可以使用格状结构。提供多种特征尺寸和沟槽深度。可以在发货之前拍摄基板的SEM图像以验证确切的轮廓。

详细介绍

纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒

屹持光电提供各种纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒,为工业和科研提供低成本的纳米光子学研究。基板可用于光学、生物学、化学、物理学(例如中子散射)、聚合物研究、纳米压印、微流体等各种应用。如果需要,可以用金属或介电涂层涂覆基底。大多数表面特征具有略微梯形的横截面轮廓,具有直平行台面和沟槽。也可以使用格状结构。提供多种特征尺寸和沟槽深度。可以在发货之前拍摄基板的SEM图像以验证确切的轮廓。

表中显示的尺寸代表目标值。周期的精度优于0.5%,而沟槽深度和线和空间的宽度可能与目标值相差15%。SEM用于说明目的。可定制更精确尺寸信息。

纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒规格

描述

基材宽度和高度公差

标准公差±0.2 mm

通光孔径(CA

距基板边缘0.5 mm(图案可延伸至基板边缘)

基材厚度

0.675±0.050mm

CA表面质量

P / N “-P”60/40,最高20/10

CA表面质量

P / N “-S” 80/100

CA外表面质量

无要求

材料

单晶硅,反应离子蚀刻

 

1、线性纳米棒(线+间隔)

P/N

周期(nm)

凹槽深度(nm)

工作周期1

线宽度2(nm

尺寸3(mm)

SNS-C72-1212-50-P

139

50

50%

69.5

12.5×12.5×0.7

SNS-C72-2525-50-P

139

50

50%

69.5

25×25×0.7 5

SNS-C36-1212-110-P

278

110

50%

139

12.5×12.5×0.7

SNS-C24-1212-110-P

416.6

110

50%

208

12.5×12.5×0.7

SNS-C20-0808-150-D45-P

500

150

44%

220

8×8.3×0.7

SNS-C20-0808-350-D45-P

500

350

44%

220

8×8.3×0.7

SNS-C20-0808-150-D60-P

500

150

60%

300

8×8.3×0.7

SNS-C20-0808-350-D60-P

500

350

60%

300

8×8.3×0.7

SNS-C18-2009-110-D50-P

555.5

110

50%

278

20×9×0.7

SNS-C18-2009-140-D50-P

555.5

140

50%

278

20×9×0.7

SNS-C18-2009-110-D29-P

555.5

110

29%

158

20×9×0.7

SNS-C18-2009-140-D29-P

555.5

140

29%

158

20×9×0.7

SNS-C16.7-0808-150-D45-P

600

150

43%

260

8×8.3×0.7

SNS-C16.7-0808-350-D45-P

600

350

43%

260

8×8.3×0.7

SNS-C16.7-0808-150-D55-P

600

150

55%

330

8×8.3×0.7

SNS-C16.7-0808-350-D55-P

600

350

55%

330

8×8.3×0.7

SNS-C16.5-2912-190-P

606

190

50%

303

29×12×0.7

SNS-C16.5-2912-190-S 4

606

190

50%

303

29×12×0.7

SNS-C16.5-2924-190-P

606

190

50%

303

29×24.2×0.7 5

SNS-C14.8-2410-170-P

675

170

32%

218

24×10×0.7

SNS-C14.8-2430-170-P

675

170

32%

218

24×30.4×0.7 5

SNS-C14.3-0808-150-D45-P

700

150

47%

330

8×8.3×0.7

SNS-C14.3-0808-350-D45-P

700

350

47%

330

8×8.3×0.7

SNS-C14.3-0808-150-D55-P

700

150

55%

375

8×8.3×0.7

SNS-C14.3-0808-150-D55-P

700

150

55%

375

8×8.3×0.7

SNS-C12-1212-200-P

833.3

200

50%

416

12.5×12.5×0.7

SNS-C12-2525-200-P

833.3

200

50%

416

25×25×0.7 5

SNS-C11.7-1212-200-P

855

200

50%

428

12.5×12.5×0.7

SNS-C11.7-2525-200-P

855

200

50%

428

25×25×0.7 5

1 占空比表示线(台面)宽度与周期的比率。
2 表示台面的宽度值。
3 第二维对应于凹槽长度。
4 以“-S”结尾的是“科研”等级。它至少有80%的可用面积。可能存在高达80/100表面质量值。
5 可提供更大的自定义尺寸 

 

 2、2D纳米图案(矩形和六边形网格)

P/N

周期(nm)

格子类型

凹槽深度

特征宽度(nm)

尺寸(mm)

S2D-24B3-0808-150-P

700

矩形

150

260

8×8.3×0.7

S2D-24B3-0808-350-P

700

矩形

350

260

8×8.3×0.7

S2D-18B3-0808-150-P

700

矩形

150

350

8×8.3×0.7

S2D-18B3-0808-350-P

700

矩形

350

350

8×8.3×0.7

S2D-24C2-0808-150-P

600

六角

150

165

8×8.3×0.7

S2D-24C2-0808-350-P

600

六角

350

165

8×8.3×0.7

S2D-18C2-0808-150-P

600

六角

150

240

8×8.3×0.7

S2D-18C2-0808-350-P

600

六角

350

240

8×8.3×0.7

S2D-24C3-0808-150-P

700

六角

150

220

8×8.3×0.7

S2D-24C3-0808-350-P

700

六角

350

220

8×8.3×0.7

S2D-18C3-0808-150-P

700

六角

150

290

8×8.3×0.7

S2D-18C3-0808-350-P

700

六角

350

290

8×8.3×0.7

S2D-24D2-0808-150-P

600

六角孔

150

180

8×8.3×0.7

S2D-24D2-0808-350-P

600

六角孔

350

180

8×8.3×0.7

S2D-18D3-0808-150-P

700

六角孔

150

200

8×8.3×0.7

S2D-18D3-0808-350-P

700

六角孔

350

200

8×8.3×0.7

S2D-24D3-0808-150-P

700

六角孔

150

290

8×8.3×0.7

S2D-24D3-0808-350-P

700

六角孔

350

290

8×8.3×0.7

 

 

 rect post

 

hex post

hex hole

 


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