Eagle XV 真空腔内X射线相机

英国Raptor Photonics公司的Eagle XV真空腔内X射线相机是专门为真空特殊工作环境设计的，可以直接放置在真空腔室内使用。相机采用了Teledyne e2v公司的背照式CCD芯片，百分之100的填充因子，可直接探测从真空紫外（极紫外）到软X-ray波段（12eV-20keV能量范围）。

主要特性

·      相机放置在真空腔室内使用

·       来自Teledyne e2v的背照式CCD芯片

·       可直接探测能量范围12eV-20keV

·       制冷温度-80℃，暗电流<0.0005e - /p/s

·       提供完整真空馈通的解决方案

·       真空度兼容性10 -5 至10 -8 mbar

典型应用

•x射线成像  •x射线显微镜 •薄膜和纳米纤维 •x射线等离子体诊断 •全息和光刻

>>X-ray衍射（XRD）

X-ray衍射是一种研究物质特性的技术，如大分子、晶体、粉末、 聚合物和纤维。 当X-ray穿过物质时，它们与原子中的电子相互作用，并分散开 来。如果原子是在平面上组织的（即物质是结晶的），并且原子之间 的距离与X-ray的波长大小相同，则会发生构造性和破坏性的干涉， 并形成衍射图案。根据所研究物质的种类，可以使用单色X-ray、粉 红束（窄带）X-ray或白束（宽带）X-ray。

>>EUV紫外光刻

半导体工业使用波长从 365nm 到 248nm 到 193/157nm 的光 源，其特征尺寸小于100nm，但已达到光刻技术的界限。认识到这 一限制，该行业在过去几年中一直在寻找一种潜在的后继技术，以生 产小于100nm的特性。半导体工业研究的下一代光刻技术包括超视 距光刻、X-ray光刻、离子束投影光刻和电子束投影光刻。尽管EUV 光刻技术也有其挑战，但它经常被使用，因为它保留了上述光刻技术 （波长13.5nm）的外观和感觉，以及使用了相同的基本设计工具。 因此，直接探测X-ray相机为光刻系统工作中提供了好的诊断 和监控手段。

>>XUV、软X射线及EUV光谱

美国McPherson Instruments公司的251MX平场光谱仪，采用新的120g/mm光栅和EA4710XO-BN相机，可以轻松实现XUV、软X射线及EUV光谱的测量。

Eagle XV – In Vacuum X-Ray

In Vacuum High Energy CCDs with a range of custom options

Introducing a high energy direct X-Ray In Vacuum version one of the most sensitive CCD cameras in the World. The Eagle XV is available in a range of options including sensor resolution, sensor type, cooling and feedthrough options – including trigger, liquid, power and CameraLink. This freedom of choice offers cameras to meet your exact needs.

The EAGLE XV camera features:

·       Choice of sensors, BN-DD and BN – Select the best QE for your application

·       Active / Passive cooling down to -80°C – Minimizing noise with Raptor cooling technology

·       Compact platform for In-Vacuum operation – Ideal for OEM integration with vacuum pressure <= 10^-5 mbar

·       Full range of Accessories – Including vacuum feedthroughs, cables, tubing etc

注：详细请登录广州市元奥仪器有限公司（www.gzyaco.com)，欢迎咨询！