智能型多功能椭偏仪Smart SE

仪器介绍：

多功能性设计，配置灵活，具备多角度测量能力，可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单，快速，精确表征和分析的工具。

技术参数：

光谱范围：450-1000nm

多种微光斑自动选择

ZL光斑可视技术，可观测任何样品表面

CCD探测器

自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向

自动调节; Z轴高度>35mm

主要特点：

一键式操作，直接报告输出

液晶调制技术，测量光路中无运动部件

CCD 探测系统，快速全谱输出

多个微光斑尺寸选择，ZL可视技术

多角度测量

可实现在线测量配置