-
-
SVT工艺监控仪 AccuFlux
- 品牌:美国SVT Associates
- 型号: AccuFlux
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
- 美国SVTA公司中国办事处
-
企业性质
入驻年限第9年
营业执照
- 同类产品
-
为您推荐
- 详细介绍
AccuFlux 工艺监控仪是非侵入式在线束流监控仪并配有原子吸收谱仪。利用各元素特定的照射灯,AccuFlux 还可测量固态源及气态源的气相束流密度。此监控仪可同时监控4种材料。独特的光学和电子设计,使速率精度<0.002nm/s。AccuFlux 具有自参考和自对准功能,即使仪器出现移位也不会影响监测。
AccuFlux 工艺监控仪可用在MBE及MOCVD上测量绝大多数材料。远程控制装置做为可选部件,是生产型应用的理想选择。此装置可提供挡板及源控制的信息实时反馈。不论生长设备上源(cell)的结构设计是线型还是共焦型,AccuFlux都可以使用。每种材料具有独特的光源,因此该监控仪可在过压环境下使用,例如GaAs,CIGS及氧化物的生长。
●创新的光学设计,能够检测速率zuidi为0.002nm/s
●针对各元素的高强度灯源
●可对固态及气态源进行束流监控
●远程控制可选,能够实现闭环控制
●可以同时监控4种材料
- 技术资料
-
- ALD原子层沉积设备-SVT
- 美国SVT RF等离子源/射频等离子源
- SVT RHEED及图像获取系统
- ULTRA-HIGH VACUUM VALVES, "SVT", W. VALVE-BELLOW, V4A
- ULTRA-HIGH VACUUM VALVES, "SVT", W. VALVE-BELLOW, V4A
- 5种生物胺混标(2021风险监控)
- 21种塑化剂混标(2019风险监控手册)
- ULTRA-HIGH VACUUM VALVES, "SVT", W. VALVE-BELLOW, V4A
- ULTRA-HIGH VACUUM VALVES, "SVT", W. VALVE-BELLOW, V4A
- ULTRA-HIGH VACUUM VALVES, "SVT", W. VALVE-BELLOW, V4A
- ULTRA-HIGH VACUUM VALVES, "SVT", W. VALVE-BELLOW, V4A
- 美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机 WP-15