Verity EPD 光谱仪

应用：
◆蚀刻-半导体-砷化镓等
◆蚀刻-平板显示
◆蚀刻-微机电系统
◆化学气相沉积
◆去光阻
◆化学机械研磨

等离子体处理中的端点检测和诊断技术。将光谱转化为信号并通过自带软件进行绘制和分析，从而了解机台的工作状况。

可以将SD1024系列光谱仪集成到系统中，或配置为使用时独立于过程的控制器，这将有助于诊断应用程序。检测器需要Verity的SpectraView软件应用程序，通过一台独立的应用计算机或Verity的MTC1000多任务计算机进行操作。运行SpectraView软件的应用计算机通过USB或以太网通信链路管理光谱仪。这个应用计算机接收来自系统主控计算机或处理模块的控制命令(配方、启动、停止)，并根据接口的定义返回端点及其他事件结果。

◆等离子诊断
◆缺陷检测
◆200-800纳米
◆制程监控
◆符合RoHS要求
◆科研级CCD
◆体积小
◆软件功能强大
◆可独立操作