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电子厂烟气监测系统

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详细介绍
电子制造工业中,对烟囱排放的氯化物、氟化物、苯系物等气体监测非常重要,OPSIS 拥有专为电子厂这种环境而设计的连续排放监测系统。为了提高在全世界许多应用场所的可靠性和运转性能,OPSIS可以满足电子芯片制造业多样化的需求。采用DOAS (差分吸收光谱法)的Opsis系统是一条开放式光径,无须接触被监测气体的监测系统,就不会受废气排放过程中的气体、高温和微粒的影响。一套系统可以实时在线地监测用户指定的一系列物质, OPSIS系统具有高准确性、高可靠性和很强的数据采集处理能力。OPSIS同样可以满足过程控制对响应速度的要求。
  一套OPSIS 系统可以监测多种物质。通常监测的气体,诸如为了符合电子厂的某些特别需求,监测HCL、HF、CL2、苯、甲苯、二甲苯、……

应用原理:差分吸收光谱法(DOAS)
系统结构:


监测项目:

序号

监测项目

分析方法

供应厂商

1

HCL

DOAS

瑞典 OPSIS

2

HF

DOAS

瑞典 OPSIS

3

CL2

DOAS

瑞典 OPSIS

4

DOAS

瑞典 OPSIS

5

甲苯

DOAS

瑞典 OPSIS

6

二甲苯

DOAS

瑞典 OPSIS

7

……

技术特点:

  • 无需抽取采样,不改变工况条件,在线实时连续测量
  • TV,MCERTS 等国际认证
  • 烟道光路上平均浓度,代表性强
  • 多气体,多光路技术(反应时间快)
  • 使用寿命长,维护量小,运营成本低(**耗件氙灯)
  • 一年只需要校准 1-2 次
  • 技术成熟,应用范围广

主要设备:

DOAS 分析仪 DOAS 接收/发射端


您是不是找?
环境空气苯系物在线监测系统,可参见“苯系物气体在线监测系统

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