LGR’s氨气和氧气分析仪

LGR’s新仪器NH₃/O₂分析仪，用于环境和工艺流量中的NH₃和O₂监测，测量灵敏度和精度高。该仪器能同时测量NH₃、O₂和水蒸气，大大节省了成本和缩短了监测时间、且不依赖洗涤剂（scrubbers）。每秒钟出一个测量结果，测量范围宽。仪器工作原理基于LGR’s腔室增强激光吸收谱，操作简单、成本较低且包含所有部件（内置泵、键盘、鼠标、视频仪），数分钟内即可开始测量记录数据。

仪器有内计算机（Linux OS），可存储数据，并通过RS-232或网络将数据实时发送给数据采集器。通过网络可实现完全远程控制，获取数据、诊断仪器等。

分析仪采用LGR’sZLOff-axis ICOS技术，即第四代腔室增强吸收技术，采用一个高精度光学腔做为测量池。该技术相比传统的CRDS有着明显的优势，如：激光束不需要在测量池分段共振耦合（jing准对齐不完全严格）；LGR’s分析仪相对便宜、易安装、耐热和机械性能好；相比CRDS，LGR’s技术可在宽光学深度（吸收值）范围内可靠记录吸收谱，故测量的摩尔浓度范围大；LGR’s可实时显示整个吸收谱，用户可实时进行系统诊断和确认；仅LGR可提供全野外监测的便携式仪器。

LGR’s新增“Enhanced Performance”系列，内置温控设施，使测量稳定、漂移最小，精度和准确度最高。”Ultraportable”系列有无可超越的便携性。

总之，LGR’s氨气/氧气分析仪测量数据质量高，用途广，如半导体过程监测和环境痕量气体监测；且氨气测量范围宽。