美国UVOCS UVO₃紫外臭氧清洗机T10x10/OES,T16x16/OES
紫外臭氧清洗，去除无机基 材料（如：石英、硅片、金、镍、 铝、砷化镓，氧化铝等）上的有 机污染物；特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。要获得超洁净的表 面，只需在传统清洗之后，再用 紫外臭氧清洗几分钟就可以。
不锈钢结构箱体
应用说明
• 表面的原子级清洗
•去除有机分子
•紫外光固化、表面化学改性
•聚合物粘接、金属粘结准备
•微流控制作、微米/纳米构型
•表面杀菌、表面氧化
•释放捕获的无机分子
•快速－大多数应用10分钟内可完成
臭氧控制系统：
紫外臭氧清洗工作原理
UVO清洗设备的核心是低压石英汞灯，产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和 等离子氧气产生，有机污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解；激发的 有机污染物可以和等离子氧原子反应形成气体，比如CO₂,等。整个过程在室温发 生，并且只需要1到几分钟完成。
紫外光处理表达方式：
紫外臭氧清洗可以去除？
皮肤油脂，有机硅油和油脂，助焊剂，残留的光刻胶，胶水溶剂，碳等。
怎样说是“超”洁净？
接触角测量方法4-5度。适用AES和ESCA测量细微的峰值。使用蒸汽测试，在冷凝 和蒸发时形成一致的彩虹装的条纹。
应用说明
| 功能简介 | 技术参数 |
| 设备结构 | 坚固耐用，全部不锈钢结构。 |
| UV指示灯 | UV"ON"指示灯和可见窗口。 |
| 灯泡工作方式 | 间歇式灯泡工作方式，灯和定时器通过关闭门来触发。 |
| 滚珠轴承系统 | 滑行部件采用托盘式采用平滑低震动滚珠轴承系统-高度到38mm。 |
| 低压石英灯 | 低压石英水银蒸汽灯发射254nm和185nmUV，促进快速氧化，去除 微量的有机残留物。 |
| 蜂鸣提醒 | 在操作过程结束时有蜂鸣声。 |
| jing准定时器 | 0-999秒/分钟/小时定时器，能够精确控制，灯和定时器通过门关闭 来触发。臭氧排气护罩 |
| 臭氧排气护罩 | UVO托盘型号有一个臭氧护罩，这会使材料再次污染最小化。一个 76mm排气出口内置在护罩的后面，可以连接到排气系统，最小排气100CFM (立方英尺/分钟) |
*注1：白色氧化铝暴露在UV能量下会变黄，这种现象是由于基材吸收UV能量， 而不是一种涂 层。这种氧化铝在
加热情况下会转化为他原来的颜色。
**注2：清洗元件温度的上升取决清洗过程的时间长度。在大多数应用，元件温度可以视为室温。
设备技术参数
| Model | T10x10/OES | T16x16/OES |
| 光照尺寸 | 10"x10" （254×254mm） | 16"x16" （406×406mm） |
| 有效面积 | 100sq.in | 256sq.in. |
| 设备宽度 | 356mm | 508mm |
| 设备深度 | 603mm | 756mm |
| 设备高度 | 368mm | 368mm |
| 托盘推出深度 | 838mm | 1168mm |
| 滑行托盘 | 1片 | 1片 |
| 箱体结构 | 箱体和托盘为不锈钢结构 | 箱体和托盘为不锈钢结构 |
| 设备电源 | 220V/50～60Hz 1.6AmpMax | 220V/50～60Hz 2.5AmpMax |
| 臭氧系统 | 有臭氧排气系统 | 有臭氧排气系统 |
| 排气口尺寸 | 直径76mm | 直径76mm |
| 排气风量 | 100cfm | 100cfm |
| 定时器 | 在开始或结束时峰鸣 | 在开始或结束时峰鸣 |
| “ON”指示器 | 有 | 有 |
更新时间：2024-04-10 09:45:03 
