在线监测系统-Thermo Fisher 洁净室AMC在线监测系统

AMC是什么?

AMC气态分子污染物(Airborne Molecular Contamination)是指存在于空气中的气态化学物质或挥发性有机化合物(VOCs),可能对产品、制程或人员造成负面影响。这类污染物通常无法通过传统的微粒过滤器(如HEPAULPA)完全去除，需要特殊控制措施。

AMC的种类

根据Semi F21-1016标准中所定义，AMC分为MA(酸性物质/MB(碱性物质)/MC(凝结物质)/MD(参杂物质/MM(金属物质)五大类，其中包含了常见的NH3、SO2、H2S、VOCs、HF、HCI等。

AMC的来源

AMC的来源相当广泛，如制程使用的化学品、外气所含的污染物、无尘室中建材释出、人员排放等等。

AMC的影响

微小的AMC物质进入无尘室后，可能造成蚀刻制程不良率提高、光阻剂变质、晶圆污染或氧化、光学镜头雾化等问题，甚至可能会影响到人体健康，因此，源头管理、实时监测与控制污染物浓度的AMC管理将成为无尘室核心的研究课题之一。

AMC在线监测系统组成

一套完整的AMC在线监测系统，具有以下组成要件：

● 取样系统：多流路取样系统与取样管路安装，选择不影响分析结果的材料，配合监测点规划，有效了解无尘室整体环境情况。

● 分析仪：根据客户需求不同，Thermo Fisher可提供多种在线分析仪配置，如NH3、H2S、VOCs、各种阴阳离子、特殊组分VOCs等，根据生产节点不同，去分析关键物质与对应浓度。

● 数据收集系统：将不同分析仪的数据汇整并显示出各点位的历史数据，再配合传输要求，可将数据传输至客户接收端，配合报警系统，有效早期预判污染物的上升趋势，进而调整无尘室滤材的更换频次，大幅提高效率。

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