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适合电子半导体研究的AFM-SEM原子力扫描电镜一体机
- 品牌：飞纳电镜
- 型号： AFM-SEM
- 产地：欧洲 荷兰
- 供应商报价：面议
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复纳科学仪器（上海）有限公司
更新时间：2025-03-24 09:55:33 -
销售范围售全国
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营业执照已审核
- 同类产品飞纳电镜(23件)
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产品特点
- 全新发布的 AFM-in-Phenom XL 结合了扫描电子显微镜 (SEM) 和原子力显微镜 (AFM) 的优势，实现了在同一系统中对样品进行多模态（SEM 及 AFM 形貌、元素、机械、电学、磁学
详细介绍
适合电子半导体研究的AFM-SEM原子力扫描电镜一体机
产品简介
全新发布的 AFM-in-Phenom XL 结合了扫描电子显微镜 (SEM) 和原子力显微镜 (AFM) 的优势，实现了在同一系统中对样品进行多模态（SEM 及 AFM 形貌、元素、机械、电学、磁学）关联分析。
· 设备扫描范围（开环）：100μm×100μm×20μm
· 设备扫描范围（闭环）：80μm×80μm×16μm
· 分辨率：0.2nm×0.2nm×0.04nm
· 样品尺寸：21mm×11mm×8mm
· 样品重量：100g
· 成像模式：表面形貌和粗糙度、CAFM、KPFM、FMM、PFM、EFM、F-z curves、I-V curves等
应用案例：半导体材料-二硫化钼（MoS2）
硫化钼（MoS2）是一种 2D 层状 TMDCs，适合作为地球上丰富的催化剂或先进电子设备中的 2D 半导体。需要充分理解这些单层的制造条件，以确保可靠和可重复的属性，如灵活性、独特的电性或机械属性。
我们展示了 AFM-in-SEM 解决方案，用于精确和复杂分析通过 CVD 在厚 SiO2/Si 上生长的 MoS2 薄片。所有技术——SEM、AFM、EFM和相位成像——都在两组不同制造条件下的样本上同时测量。这种方法可以比较结果，以确定最佳的制造参数，以实现所需的样本特性。使用 AFM 地形、SEM、EFM 和相位成像对 MoS2 进行复杂表征。
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