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四方仪器红外气体传感器 Gasboard-2060

品牌：四方仪器
型号： Gasboard-2060
产地：湖北武汉
供应商报价：面议

四方光电（武汉）仪器有限公司更新时间：2025-03-14 09:31:59

销售范围售全国

入驻年限第10年

营业执照已审核

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四方仪器红外气体传感器 Gasboard-2060

四方仪器红外气体传感器 Gasboard-2060

四方仪器红外气体传感器 Gasboard-2060 核心参数

检测原理	NDIR	检测气体	SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)	重复性	±0.5%
线性	±1%F.S.	检测限	1ppm

产品特点

使用NDIR技术，多气体监测支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)
响应时间快，高灵敏度
无耗材
模拟/数字通信
模块化设计，便于集成

详细介绍

产品名称：红外气体传感器

产品型号：Gasboard-2060

红外气体传感器产品概述

红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。

红外气体传感器产品特性