韩国耐神NEXENSOR 3D干涉扫描显微镜

解决方案

zuixin的OLED检测工艺需要在线检测面板缺陷的微观3D形貌，为此韩国Nexensor推出了集精度和速度为一体的全新3D干涉扫描显微镜并成功解决了客户的全新需求。

韩国Nexensor全新3D干涉扫描显微镜可在1300×1080μm 的视野范围（FOV）实现0.1秒完成100frame的扫描；重复性高达10nm；垂直分辨率100nm。客户使用我们的产品可以在1秒内完成一个缺陷的3D检测，极大的提高了检测效率和速度。为下一步激光修复工艺提供了准确的参数并能够检测激光修复后的结果。

通过使用韩国Nexensor全新3D干涉扫描显微镜，实现了在线检测面板缺陷的3D形貌，大大提高了检测效率，结合激光修复工艺使良品率进一步提升，增强客户的产品竞争力。