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日本KOFLOC质量流量控制器-金属密封北京天津总代理
- 品牌：日本科赋乐
- 型号： 5400系列
- 产地：日本
- 供应商报价： ¥ 12 （市场参考价：¥ 15）
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晟旗科技（北京）有限公司
更新时间：2021-07-27 16:43:59 -
企业性质生产商
入驻年限第5年
营业执照已审核
- 同类产品质量流量控制器(11件)
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- 日本KOFLOC质量流量控制器-金属密封北京天津总代理 核心参数
- 详细介绍
5400系列
日本KOFLOC
5400系列质量流量控制器-金属密封金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
电气连接
5400质量流量控制器
量程(N2)
10SCCM-20SLPM(另外50SLM)
精度
±1.0%FS
重复性
±0.2%FS
响应时间
1秒以内
耐压
1.0Mpa
进口最大压力
O.3Mpa
动作压差
0.05-0.3Mpa
泄漏率
1*10-11pa·m³/s以下
温度范围
5-45℃
湿度范围
10-90%RH(不能结露)
材质
本体SUS316L
密封圈SUS316L、PTFE
电气接口
DB9
模拟信号
0-5V输入/输出
供电
+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
管路连接
标配1/4UJR
选配1/8UJR
重量
约1000g
电气连接
针脚/颜色
定义
1针脚/棕色
阀门全开/全闭
2针脚/白色
0-5V输出
3针脚/红色
+15VDC
4针脚/黑色
电源COM
5针脚/黄色
-15VDC
6针脚/灰色
0-5V输入
7针脚/绿色
输出COM
8针脚/兰色
输入COM
9针脚/紫色
阀门电源输出
使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口最大压力3公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
5100系列
日本KOFLOC
5100系列质量流量控制器-内抛光金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
内部抛光Ra≤0.1，杜绝二次污染介质
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
适用于高真空、半导体以及对管路洁净度高要求场合
性能参数
5100质量流量控制器
量程(N2)
1SCCM-20SLPM
精度
±1.0%FS
重复性
±0.2%FS
响应时间
1秒以内
耐压
1.0Mpa
进口最大压力
O.3Mpa
动作压差
0.05-0.3Mpa
泄漏率
1*10-11pa·m³/s以下
内抛光
Ra≤0.1
温度范围
5-45℃
湿度范围
10-90%RH(不能结露)
材质
本体SUS316L
密封圈SUS316L、PTFE
电气接口
DB9
模拟信号
0-5V输入/输出
供电
+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
管路连接
标配1/4UJR
选配1/8UJR
重量
约1000g
电气连接
针脚/颜色
定义
1针脚/棕色
阀门全开/全闭
2针脚/白色
0-5V输出
3针脚/红色
+15VDC
4针脚/黑色
电源COM
5针脚/黄色
-15VDC
6针脚/灰色
0-5V输入
7针脚/绿色
输出COM
8针脚/兰色
输入COM
9针脚/紫色
阀门电源输出
- 产品优势
- 日本KOFLOC
5400系列质量流量控制器-金属密封
金属密封，泄漏率1*10-11pa•m³/s以下
适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
| 测量范围: | 10SCCM-20SLPM(另外50SLM) | 准确度: | ±1.0%FS |
| 介质温度: | 5-45℃ | 工作压力: | 3 |
| 管径范围: | 标配1/4UJR 选配1/8UJR |
