超高真空位移平台

我们压电马达位移平台不仅可以匹配常压环境的应用，还可以用于高真空（HV，1E-6 mbar）和超高真空（UHV，1E-11 mbar）。

我们可提供在超高真空环境下工作的线性平台、转台和多维运动系统。UHY版本平台蕞高可工作在150℃环境下，并且可提供两种不同类型的电缆。

1）  经济型的特氟龙绝缘电线

2）  卡普顿绝缘电线是一种无氟解决方案。

此外我们还针对高真空和超高真空提供对应的航空插头，通常我们使用

1）  HV为密封O型圈的隔板LEMO航空导线

2）  用于超高压的紧密焊接航空插头

对于使用在高温下的平台，建议采用刚度更高的U型底座。该底座与标准品孔位完全相同，但是会相应的增加平台的宽度。

在不同真空条件下平台配置可参见下图：