HORIBAstec SEC-N112MGM热式气体质量流量控制器

HORIBAstec SEC-N112MGM热式气体质量流量控制器

HORIBA有各种各样的产品来满足您的流体测量和控制要求。

在各种制造工艺和研究实验室中，我们提供精确的测量和可靠的气体和液体控制。HORIBA是整个半导体制造业中使用的高性能质量流量计、质量流量控制器、自动压力控制器和液体汽化系统的公认产品。

工作原理

从入口进入的气体首先分流通过传感器或旁通。

在传感器处，质量流量被检测为温度的成比例变化，并由桥式电路转换为电信号。

该信号通过放大和校正电路，并作为0至5V之间的线性电压输出。同时，它也被发送到比较控制电路。

比较控制电路将流量设定信号与来自传感器的实际流量设定信号进行比较，并向阀驱动电路发送差值信号。

流量控制阀适当移动，使调节流量设定点和流量输出信号之间的差值接近零。换句话说，该装置控制流量，使其始终处于设定的流速。

SEC-N100 系列适用于各种行业和应用。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。SEC-N100 系列还支持各种通信模式，即数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 。SEC-N100 系列提供高精度（+/- 1.0% 设定点 *1）和高速响应。该质量流量控制器还具有多气体/多量程功能，可降低制程成本。

*1 不包括 SEC-N17X 系列

SEC-N112MGM在光伏制造过程的过程控制与现场测量

清洁、可再生能源的发展仍在继续。HORIBA的分析、测量和控制技术正在推动光伏发展向电网平价迈进。HORIBA产品SEC-112MGM用于晶体和薄膜太阳能电池的制造过程。并将我们丰富的科学分析经验应用在您的研发实验室。HORIBA的高可靠性过程监视器和流体控制器在生产过程中提供质量保障.堀场在半导体和FPD行业的悠久历史，定制检测系统，让HORIBA 帮助你们迎接提高光伏电池生产效率的挑战。

产品技术规格