气体质量流量控制器（Mass Flow Controller )可以对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器等。对产品性能和生产工艺的不断改进，质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点。