真空计

真空计又名真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。按照真空计测量原理可分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。量程范围：在较高压力时(10～1Pa)利用压力差U型管压力计，麦克劳真空计，薄膜计，弹簧管压力计等；在10～10Pa的中间压力范围，利用气体性质(热传导，粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计；在低压力时，使用将气体分子电离而测量的电离真空计。