普发真空 集成式真空计
伯东公司德国普发Pfeiffer真空镀膜机
PFEIFFER 普发PKR251真空计
德国普发Pfeiffer 多功能 氦质谱检漏仪ASM 340
德国普发TPG 201/202 真空计
pfeiffer 德国普发冷阴极真空计IKR 系列测量范围0,01 hPa 到 5x10-11 hPa,型号包含真空计IKR 251,真空计IKR 261和真空计IKR 270多种接口可选, pfeiffer 德国普发冷阴极真空计采用倒置磁控管原理,特别适合高真空应用. pfeiffer 德国普发冷阴极真空计IKR 系列抗大气冲击,耐腐蚀,输出模拟信号为:0-10V ,冷阴极真空计IKR 系列可搭配德国 pfeiffer真空计显示器 TPG 共同使用. 上海伯东可协助客户选型并提供完善的售后维修服务
pfeiffer 德国普发冷阴极真空计IKR 系列技术参数
型号 | 接口 | 真空计测量范围 | 工作温度 | 烘烤温度 | 真空计 | 极限压力 | 重量 g |
IKR 251 | DN 25 ISO-KF | 2X10-9-0.01 hPa | 5-55 °C | 150 °C | ± 30% | 10,000 hPa | 700 |
IKR 261 | DN 40 ISO-KF | 2 x 10-9 | 5-55 °C | 250 °C | ± 30% | 10,000 hPa | 700 |
IKR 270 | DN 40 CF-F | 5x10-11hPa | 5-55 °C | 250 °C | ± 30% | 1000kPa | 950 |
冷阴极真空计IKR 251 尺寸图:

冷阴极真空计IKR 251 冷阴极真空计IKR long case
上海伯东主要经营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵:应用于各种条件下的真空计,氦质谱检漏仪,质谱分析仪,以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源
,美国HVA真空阀门,Polycold冷冻机等
上传人:伯东企业(上海)有限公司
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润滑油
伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成 Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
氦质谱检漏仪 ASM 340 优点 1. 前级泵配备旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s 3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检测漏率: 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏律 4. 移动式操作面板(有线, 无线) 5. 集成 SD卡, 方便资料处理 6. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性 7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等 8. 检测时间短
氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势: 1. 强大的抽空能力 2. 极短的测试时间, 3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸 4. 符合人体工学设计, 移动性强 5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准 6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用