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伯东企业(上海)有限公司
主营产品:德国 Pfeiffer 真空设备;美国 ATC 空气泄漏测试仪,美国 KRI

Atonarp 过程控制质谱仪

 
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Atonarp 适用于半导体过程控制在线质谱仪 Aston™
  • 品牌: Atonarp
  • 型号:Atonarp
  • 产地:日本
  • Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集...

Atonarp 半导体过程监控在线质谱仪
  • 品牌: Atonarp
  • 型号:Aston™
  • 产地:日本
  • 上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™, 通过使用分子传感技术, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控...

Atonarp 过程控制质谱仪产品文章
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