我要发布
仪器网/ 仪器社区/ 靶材/ PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目

PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目

huijkd    2009-02-23    靶材    浏览 424 次

作PVD制程所用到靶材需要检验哪些项目,怎么检验?还有钛靶、铬靶、石墨靶及不锈刚靶的密度各是什么

精彩问答
一起飞翔嗨翻天 发布日期:2009-02-25
1.靶材的纯度,可以用化学分析法、光谱能量测定法等方法检验;
2.晶粒度:要求晶粒越细小越好。而且晶粒要尽可能均匀一致。可以用光学显微镜检验;
3.密度:原则上,靶材的密度越高越好。密度越高,晶粒间隙越小,压制紧密,靶材质量越好。可以用称量法检验;
4.组织均匀性:对于两种成份以上的合成靶,特别是相互难融的成分,还可以做金相检验,看成分、组织是否均匀一致;
5.机械性能:有些靶材,如有色金属等可以要求一下。石墨靶,高级一点的,也有该要求。检验用专门的机械性能试验机。
具体密度值,要查相应手册啦。一般供应商也会提供。
全部评论
薄荷璺 发布日期:2009-02-24
纯度,即尽量的少含杂质,一些合金靶要求要有准确配比,密度可以去查元素表
最新主题
相关版块
我要评论
X您尚未登录
账号登录
X您尚未登录
手机动态密码登录
X您尚未登录
扫码登录
官方微信

仪器网微信服务号

扫码获取最新信息


仪器网官方订阅号

扫码获取最新信息

在线客服

咨询客服

在线客服
工作日:  9:00-18:00
联系客服 企业专属客服
电话客服:  400-822-6768
工作日:  9:00-18:00
订阅商机

仪采招微信公众号

采购信息一键获取海量商机轻松掌控