1. 靶材的简单制备工艺？（我只知道是ZnO和Al为原料）？ 2. 目前国内的靶材生产相对于国外来讲，Z主要的缺陷在哪里？或者说，靶材制备当中Z困难的地方，导致国际生产商技术垄断的技术要点和难点是什么？ 3. 国内北京氧气厂和浙大是否还在生产？纯度是否能... 1. 靶材的简单制备工艺？（我只知道是ZnO和Al为原料）？
2. 目前国内的靶材生产相对于国外来讲，Z主要的缺陷在哪里？或者说，靶材制备当中Z困难的地方，导致国际生产商技术垄断的技术要点和难点是什么？
3. 国内北京氧气厂和浙大是否还在生产？纯度是否能达到6N?
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