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真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理?

高照松    2014-10-27    靶材    浏览 278 次

精彩问答
121莪很乖 发布日期:2016-12-01
离子镀膜其实是离子溅射镀膜,
对于导电靶材,使用直流偏压电源;非导电靶材,使用脉冲偏压电源。
你这个多弧离子镀膜机,可能还需要直流电弧电源或脉冲电弧电源

偏压电源其实就是在阴极和样品所在位置的阳极之间形成偏压电场,一般是阴极加负高压。阴极表面的自由电子在电场作用下定向加速发射,发射电子轰击气体分子,使之电离,并且气体被驱出的电子被电场加速,继续电离其他气体分子,连续不断,形成雪崩效应,气体被击穿,形成恒定的电离电流。此时离子也被加速,轰击靶材,将靶材中的原子驱除出表面,并沉积在样品表面。

电弧电源有点类似日光灯启辉器和镇流器,靠电弧加热电离气体形成等离子体,而不是电子加速撞击。
全部评论
3310mj 发布日期:2014-10-28
汇成真空科技 你问问这个比较专业点 我不是很懂都是问他们的,希望你帮到更多人 郭小姐谢谢……
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