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中频,射频,微波电源如何加强气体电离

xu_小佩    2017-06-13    靶材    浏览 453 次

精彩问答
1040197145cc 发布日期:2017-06-14
中频电源是用于 中频双靶溅射 就是将电源的两极接在两个靶材上,是为了避免靶材中毒,普通的直流溅射中靶材粘附等离子体而是靶成正极,中频双靶溅射就是将等离子体中而使之成中性。还可以提高溅射率。

射频电源是用于 射频溅射 射频电源在真空室中产生电子,电子撞击氩气形成等离子体轰击靶材。射频溅射的Z大优点是可以制备从导体到绝缘体材料的薄膜。

脉冲电源我就不太清楚了。很少有看到脉冲电源用于真空溅射镀膜上的。
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