我们使用的霍尔离子源阳极电流不稳定,阳极电流不稳定导致气体通入量也不稳定,正常情况下气体通入是从Z大设定值开始,然后慢慢减小到所需要的数值,但现在是从Z小的数值开始,慢慢增大到所需要的数值,而且有时气体慢慢减小到零,气瓶内的气体压力还很多,... 我们使用的霍尔离子源阳极电流不稳定,阳极电流不稳定导致气体通入量也不稳定,正常情况下气体通入是从Z大设定值开始,然后慢慢减小到所需要的数值,但现在是从Z小的数值开始,慢慢增大到所需要的数值,而且有时气体慢慢减小到零,气瓶内的气体压力还很多,查了很多地方,还是没有解决,请高手帮忙指点一下。谢谢!
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