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请问测厚度的仪器有哪些?

Jeo301    2013-01-13    台阶仪    浏览 477 次

精彩问答
ljz128ljz 发布日期:2013-01-14
厚度很薄的,一般在数十埃至几微米范围内的。为适应各种成分和结构的薄层的测厚要求,已研制成各种测量设备。像真尚有的传感器zlds100。采用比色法、干涉条纹法以及椭偏术等测量各种透明薄膜;采用磨角染色法、层错法、红外光反射法以及背散射技术等检验外延层厚度、扩散层和离子注入层的深度;采用间接干涉法和台阶仪等测量金属膜和多晶硅的厚度等。
全部评论
书墨ing 发布日期:2013-01-14
包括千分尺,游标卡尺,还有测厚仪,其中千分尺的可靠度高点,测厚仪要经常校准的。
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