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pvd镀膜的厚度的测量方法有哪些?具体设备?

无语专利X    2011-04-10    台阶仪    浏览 509 次

精彩问答
aa一个人醉b 发布日期:2011-04-11
1.台阶仪
2.透射光谱法----分光光度计
3.椭篇仪
4.XRD小角衍射
5.AFM三维形貌
6.质量法----超微量天平
全部评论
战兴中 发布日期:2011-04-26
1.在线膜厚监控法
2.无损检验法
3.破坏法
说点实际的吧:用的Z多的还是台阶仪吧,我公司就是。比较简单,方便。如果想节约成本,用球磨仪打磨后测量,计算厚度
唐痹城栋诚焉 发布日期:2011-04-14
游标卡尺!
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