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求问多晶硅的纯度怎么测,使用什么仪器

KJD_    2013-11-02    电感耦合等离子体发射光谱仪    浏览 252 次

精彩问答
qdfine 发布日期:2013-11-03
多晶硅生产厂家一般配置的仪器:
气相、红外、ICP-OES、ICP-MS
ICP-OES:主要用于测试原料及过程控制。
ICP-MS:用于成品检测。
国内现在上马建设的多晶硅厂家很多,基本上都是这种配置。
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