特别是后两者和前三者之间是一种什么关系?
是不是说 硅化物分为 非晶硅 单晶硅 多晶硅三类
而氧化硅氮化硅是硅化物其中的两种?那么这么说的话 氧化硅氮化硅也就属于前三类中的了,属于哪一类?
请回答的详细通俗点。
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