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可以使用透明固体改变光刻的光源波长吗

新人新机    2017-06-02    激光波长计    浏览 377 次

浸没式光刻技术是使用水,会带来一系列的水循环的控制问题。我想为什么不直接在光刻胶上注水,然后让它结冰呢?冰的折射率与水相差不大,因此可以减少去离子水作为浸没液体的控制问题。

精彩问答
三灌墓渍颂Mc8 发布日期:2017-06-03
光刻是利用一种叫光阻剂的材料通过曝光显影来完成的,这种光阻剂只有在黄色是管线下才不会被曝光,当需要曝光的时候会在一台专门的设备里曝光!
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