实验名称:基于MEMS工艺柔性基底磁通门传感器性能测试与分析
本文主要搭建了一套磁通门性能测试系统,主要测试设备有:信号发生器、功率放大器、磁强计、电流表、磁通门传感器、示波器等。
磁通门传感器测试系统:
激励信号由任意信号发生器33220A和功率放大器ATA-4011串联产生。任意信号发生器可产生正弦波、方波、三角波、锯齿波,也可以通过程序控制产生特殊形状的波形。功率放大器ATA-4011带宽可达到1MHz,ZD提供2.82App的电流值,满足测量需求。
为了测量激励电流有效值,在激励电路上串联一个电流表,当磁通门传感器作为磁场传感器时,被测磁场由直流电源激励一个螺线管产生,为了标定被测磁场的大小,在螺线管前串联一个电流表测试螺线管电流。
基于MEMS工艺的柔性基底磁通门磁场传感器
当磁通门作为电流传感器时,将柔性基底磁通门传感器粘贴在一个圆柱形的支撑骨架上,使柔性基底传感器铁芯两端紧挨以使磁路闭合,并将被测电流穿过支撑骨架ZX。被测电流用直流电源提供,并串联一个电流表用于标定被测电流值,在磁通门的感应线圈两端接示波器对输出信号进行分析。
基于MEMS工艺的柔性基底磁通门电流传感器
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