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仪器网-专业分析仪器,检测仪器,实验室仪器设备交易网薄膜应力分布测试仪
仪器网/ 薄膜应力分布测试仪 2024-06-02 08:01:52
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  • 型号: JC06-DZ
  • 产地:中国大陆
  • 供应商:北京北信科仪分析仪器有限公司
  • 电子产品 基片曲率半径测量测试仪 光学零件平整度面形检测仪 微电子生产半导体基片检测仪型号JC06-DZ该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、基片曲率半径测量测试。该仪器总测量点数多,能给出全场面型分布结果,适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。仪器基于干涉计量的全场测试原理,可实时观测面型的分布,迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置,及时淘汰早期失效产品。主要技术指标样品尺寸≤100mm(4英寸)曲率范围|R|≥5米测试精度5%单片测量时间3分钟/片结果类型面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格图形显示功能三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示电源AC220V±10%,50Hz±5%功耗100W外型尺...

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