用安东帕原子力显微镜表征铜上的纳米压痕

纳米压痕是一种测量材料力学性能的技术，它用 一个确定形状的压头或探针在一定的载荷下压入待测 的表面。这种技术广泛应用于纳米尺度下测量块体材 料或镀层的硬度和弹性模量，尤其是晶态金属材料。 压痕过程的一个副作用是，压痕材料可以在压痕周 围“堆积”或“下沉”。这种堆积和下沉效应会引起对接触 面积的不正确估计，从而导致通过传统的Oliver–Pharr 方法计算的力学性能被高估或低估。