硅薄膜晶化率的拉曼检测分析

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利用必达泰克公司的i-Raman激光拉曼光谱仪来检测硅结晶过程中从非定型硅到多晶硅的晶化率，并获得了满意的效果 iRaman小型拉曼光谱仪 InnoRam小型化科研级拉曼光谱仪可视化显微拉曼检测平台

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