日本ATAGO（爱宕）折光仪在光刻设备中的应用

浸入式光刻是指在光刻机投影镜头与半导体硅片之间用一种液体充满，从而获得更好分辩率及增大镜头的数值孔径，进而实现更小曝光尺寸的一种新型光刻技术日本ATAGO（爱宕）是折光仪产品的，其独有的高折射率阿贝折射仪及多波长阿贝折射仪在光刻机领域高折射率浸入液的研究与高折射率镜头的研究中具有不可替代的作用 阿贝折光仪的使用 在线浓度计 在线糖度计，在线折射仪 阿贝折光仪 阿贝折光仪的使用 快速食品检测仪 DR-M4/1550多波长阿贝折射仪 NAR-4T高折射率 阿贝折光仪 DR-M2多波长阿贝折射仪，爱宕阿贝折光仪 NAR-2T阿贝折光仪 NAR-3T阿贝折光仪 DR-M2多波长阿贝折射仪 DR-M2/1550(A)多波长阿贝折射仪 2T-HI阿贝折射仪( 高温与高折射指数测量使用 ) 1T-LO阿贝折光仪(低折射指数测量使用) NAR-1T SOLID固体折光仪 DR-M4/1550(A)多波长阿贝折射仪 DR-A1数显阿贝折光仪