Sensofar共聚焦白光干涉仪 | 用于对干式电解抛光工艺的表征

       GPAINNOVA正在对制造团队得以生产高质量金属表面的方法进行改造。DLyte系列机器基于Drylyte专利技术：这是一个干式电解抛光工艺，为业内的金属合金表面修整提供了解决方案。应用范围从美观部件打磨、倒圆、去毛刺到表面修匀和高光泽抛光。Sensofar的S neox Five Axis使我们能够采用现有表面修整解决方案达到Z高质量。

      在GPAINNOVA，Sensofar S neox Five Axis专门用于量化抛光工艺，并说明使用DLyte抛光后样品粗糙度降低的情况。样品可能各有不同，下至非常粗糙的增材制造零件，上至镜面表面，而Sensofar系统包括多焦面叠加、共聚焦和干涉测量技术等多种功能，因此所有样品都可以使用Sensofar系统进行测量。
下文所述为DLyte功能的一个简短示例。可以看到DLyte抛光前后由CoCr制成的股骨组件。

      在Sensofar系统之前，我们使用接触式触针轮廓仪，获取的参数只有轮廓参数（Ra、Rz、Rq等）。尽管Ra是Z常用的参数，但它并未提供有关表面空间结构的任何信息。但是从现在起，借助Sensofar计量技术，可以测量Sa（Ra向表面的延伸）等表面参数。Sa的测量考虑样品表面粗糙度，可以比Ra更好地表征表面。测量某个区域的主要优点是有可能扫描更大的区域，并生成适合作为样品概观的数毫米大小的表面，从而获得更可靠的数值。3D区域表面参数按照ISO 25178标准计算（对表面纹理基础的S次重新定义），包含以下参数：Sa、Sq、Ssk、Sku、Sp、Sv和Sz。

      通过干涉测量技术，采用50x DI物镜获得以下测量结果。干涉测量技术使我们能够测量和上文所述股骨组件样品一样的镜面表面。

      S neox Five Axis不仅可用于表征抛光工艺后表面粗糙度降低的情况，还可用于证明借助Drylyte技术保持了抛光零件的公差。下文所示为加工零件的外形和形状测量示例，该案例使用了多焦面叠加技术。

可以看出，由于采用干涉测量法拍摄黑白图像和彩色地图图像，采用DLyte工艺之后，用低于0.05 µm的Sa参数定量的样品表面粗糙度降低。

      此外，通过使用Ai多焦面叠加技术的互补形状测量，证明了形状得到保留。S neox Five Axis是一种多功能计量工具，完全满足我们的测量需求，从现在起将成为DLyte实验室的得力工具。