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本文介绍了一种使用Agilent 7500cs ICP-MS 测定光伏级硅中存在的超痕量元素杂质的新型定量方法。硼（挥发性元素）和磷（受Si 基干扰）对该行业尤其重要；因此，为了利用ICP-MS 分析这些元素，应特别注意样品预处理阶段。在验证样品前处理策略的过程中，所有元素均获得了良好的回收率。提供了13 种不同Si 样品中存在的一系列元素的示例数据，以及检测限列表。可以测定固体中低至ppb 级的B 和P，并可以测量ppt 级所研究的其他元素。
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