俄歇纳米探针 - 产品信息 - 相关知识

2025-01-10 10:49:47俄歇纳米探针: 俄歇纳米探针是一种基于俄歇电子能谱分析原理的纳米级分析工具。它利用聚焦离子束或电子束作为激发源，对样品表面进行微区分析，通过检测俄歇电子的能量和强度分布，获取样品表面的元素组成、化学态及分布信息。俄歇纳米探针具有极高的空间分辨率和化学灵敏度，适用于材料科学、纳米技术、生物医学等领域的微纳尺度分析。

俄歇纳米探针相关内容

全部
资讯
产品
问答

俄歇纳米探针资讯

浅谈扫描俄歇纳米探针

 爱发科费恩斯（南京）仪器有限公司 634
2022-07-14
又双叒叕有两台AES俄歇电子能谱安装完成

根据分析俄歇电子的基本特性得到材料表面元素成分（部分化学态）定性或定量信息，可以对纳米级形貌进行观察和成分表征。

爱发科费恩斯（南京）仪器有限公司 447
2022-10-23
AES俄歇电子能谱仪扫描俄歇纳米探针 CMA同轴式筒镜能量分析器

俄歇纳米探针产品

产品名称

所在地

价格

供应商

咨询

: PHI 710 AES 扫描俄歇纳米探针; 国外亚洲; 面议; 爱发科费恩斯（南京）仪器有限公司
售全国; 我要询价联系方式

: 美国PHI 扫描俄歇纳米探针PHI 710; 国外美洲; 面议; 束蕴仪器（上海）有限公司
售全国; 我要询价联系方式

: 俄歇电子能量谱组件; 国外美洲; 面议; 科睿设备有限公司
售全国; 我要询价联系方式

: 场发射俄歇电镜; 国外亚洲; 面议; 捷欧路（北京）科贸有限公司
售全国; 我要询价联系方式

: 纳米探针台; 国外欧洲; 面议; 深圳市科时达电子科技有限公司
售全国; 我要询价联系方式

俄歇纳米探针问答

2022-07-14 15:06:51浅谈扫描俄歇纳米探针: 简介扫描俄歇纳米探针，又称俄歇电子能谱（Auger Electron Spectroscopy，简称AES）是一种表面科学和材料科学的分析技术。根据分析俄歇电子的基本特性得到材料表面元素成分（部分化学态）定性或定量信息。可以对纳米级形貌进行观察和成分表征。近年来，随着超高真空和能谱检测技术的发展，扫描俄歇纳米探针作为一种极为有效的表面分析工具，为探索和研究表面现象的理论和工艺问题，做出了巨大贡献，日益受到科研工作者的普遍重视。俄歇电子能谱常常应用在包括半导体芯片成分表征等方向发展历史近年来，固体表面分析方法获得了迅速的发展，它是目前分析化学领域中最活跃的分支之一。它的发展与催化研究、材料科学和微型电子器件研制等有关领域内迫切需要了解各种固体表面现象密切相关。各种表面分析方法的建立又为这些领域的研究创造了很有利的条件。在表面组分分析方法中，除化学分析用光电子能谱以外，俄歇电子能谱是最重要的一种。目前它已广泛地应用于化学、物理、半导体、电子、冶金等有关研究领域中。俄歇现象于1925年由P.Auger发现。28 年以后，J.J.Lander从二次电子能量分布曲线中第一次辨认出俄歇电子谱线，但是由于俄歇电子谱线强度低，它常常被淹没在非弹性散射电子的背景中，所以检测它比较困难。 1968年，L.A.Harris 提出了一种“相敏检测”方法，大大改善了信噪比，使俄歇信号的检测成为可能。以后随着能量分析器的完善,使俄歇谱仪达到了可以实用的阶段。 1969年圆筒形电子能量分析器应用于AES, 进一步提高了分析的速度和灵敏度。 1970年通过扫描细聚焦电子束,实现了表面组分的两维分布的分析(所得图像称俄歇图)，出现了扫描俄歇微探针仪器。 1972年，R.W.Palmberg利用离子溅射，将表面逐层剥离，获得了元素的深度分析，实现了三维分析。至此，俄歇谱仪的基本格局已经确定， AES已迅速地发展成为强有力的固体表面化学分析方法，开始被广泛使用。基本原理俄歇电子是由于原子中的电子被激发而产生的次级电子。当原子内壳层的电子被激发形成一个空穴时，电子从外壳层跃迁到内壳层的空穴并释放出光子能量；这种光子能量被另一个电子吸收，导致其从原子激发出来。这个被激发的电子就是俄歇电子。这个过程被称为俄歇效应。Auger electron emission 入射电子束和物质作用，可以激发出原子的内层电子。外层电子向内层跃迁过程中所释放的能量，可能以X光的形式放出，即产生特征X射线，也可能又使核外另一电子激发成为自由电子，这种自由电子就是俄歇电子。对于一个原子来说,激发态原子在释放能量时只能进行一种发射：特征X射线或俄歇电子。原子序数大的元素，特征X射线的发射几率较大，原子序数小的元素，俄歇电子发射几率较大，当原子序数为33时，两种发射几率大致相等。因此，俄歇电子能谱适用于轻元素的分析。如果电子束将某原子K层电子激发为自由电子，L层电子跃迁到K层，释放的能量又将L层的另一个电子激发为俄歇电子，这个俄歇电子就称为KLL俄歇电子。同样，LMM俄歇电子是L层电子被激发，M层电子填充到L层，释放的能量又使另一个M层电子激发所形成的俄歇电子。只要测定出俄歇电子的能量，对照现有的俄歇电子能量图表，即可确定样品表面的成份。由于一次电子束能量远高于原子内层轨道的能量，可以激发出多个内层电子，会产生多种俄歇跃迁，因此,在俄歇电子能谱图上会有多组俄歇峰，虽然使定性分析变得复杂，但依靠多个俄歇峰,会使得定性分析准确度很高，可以进行除氢氦之外的多元素一次定性分析。同时,还可以利用俄歇电子的强度和样品中原子浓度的线性关系,进行元素的半定量分析,俄歇电子能谱法是一种灵敏度很高的表面分析方法。其信息深度为5nm以内,检出限可达到0.1%atom。是一种很有用的分析方法。系统组成 AES主要由超高真空系统、肖特基场发射电子枪、CMA同轴式筒镜能量分析器、五轴样品台、离子枪等组成。以ULVAC-PHI的PHI 710举例，其核心分析能力为25 kV肖特基热场发射电子源，与筒镜式电子能量分析器CMA同轴。伴随着这一核心技术是闪烁二次电子探测器、高性能低电压浮式氩溅射离子枪、高精度自动的五轴样品台和PHI创新的仪器控制和数据处理软件包：SmartSoft AES ™ 和 MultiPak ™。并且，目前ULVAC-PHI的PHI 710可以扩展冷脆断样品台、EDS、EBSD、BSE、FIB等技术，深受广大用户认可。PHI710激发源，分析器和探测器结构示意图：为满足当今纳米材料的应用需求，PHI 710提供了最高稳定性的 AES 成像平台。隔声罩、低噪声电子系统、稳定的样品台和可靠的成像匹配软件可实现 AES对纳米级形貌特征的成像和采谱。真正的超高真空（UHV）可保证分析过程中样品不受污染，可进行明确、准确的表面表征。测试腔室的真空是由差分离子泵和钛升华泵（TSP）抽气实现的。肖特基场发射源有独立的抽气系统以确保发射源寿命。最新的磁悬浮涡轮分子泵技术用于系统粗抽，样品引入室抽真空，和差分溅射离子枪抽气。为了连接其他分析技术，如EBSD、 FIB、 EDS 和BSE，标配是一个多技术测试腔体。 PHI 710 是由安装在一个带有 Microsoft Windows ® 操作系统的专用 PC 里的PHI SmartSoft-AES 仪器操作软件来控制的。所有PHI电子光谱产品都包括执行行业标准的 PHI MultiPak 数据处理软件用于获取数据的最大信息。710 可应用互联网，使用标准的通信协议进行远程操作。AES的应用扫描俄歇纳米探针可分析原材料（粉末颗粒，片材等）表面组成，晶粒观察，金相分布，晶间晶界偏析，又可以分析材料表面缺陷如纳米尺度的颗粒物、磨痕、污染、腐蚀、掺杂、吸附等，还具备深度剖析功能表征钝化层，包覆层，掺杂深度，纳米级多层膜层结构等。AES的分析深度4-50 Å，二次电子成像的空间分辨可达 3纳米，成分分布像可达8纳米，分析材料表面元素组成（Li ~ U），是真正的纳米级表面成分分析设备。可满足合金、催化、半导体、能源电池材料、电子器件等材料和产品的分析需求。AES 应用的几种例子，从左到右为半导体FIB-cut，锂电阴极向陶瓷断面分析小结本文小编粗浅的介绍了俄歇电子能谱AES的一些基础知识，后续我们还会提供更有价值的知识和信息，希望大家持续关注“表面分析家”！

2025-04-23 14:15:17接触角测量仪探针怎么调: 接触角测量仪探针的调整是确保测量精度和仪器性能的关键步骤。在进行接触角测量时，探针的正确调整可以显著影响测量结果的准确性与一致性。本文将详细介绍如何调节接触角测量仪的探针，以确保测量过程中各项参数的佳配置，并帮助用户避免常见的操作失误。通过正确的操作，不仅能提高测量效率，还能延长仪器的使用寿命。因此，掌握探针调整的技巧，对每一位使用接触角测量仪的工程师和技术人员来说，都是至关重要的。接触角测量仪探针的调整通常涉及多个方面，其中包括探针的垂直度、位置以及与样品表面接触的角度。为了确保探针能够精确地接触到样品表面，必须调整仪器的探针支撑架。通过调节支撑架的角度和高度，可以保证探针始终与样品表面垂直，从而减少因角度不准确引起的测量误差。接触角测量仪的探针必须精确定位，以确保每次实验中探针与液滴接触的条件一致。通常，这需要通过微调螺丝来实现精细定位，确保探针的每次接触位置不会偏离设定的标准位置。如果探针位置发生偏差，液滴的分布情况将不均匀，从而影响接触角的准确度。在进行探针调整时，还需要考虑环境因素对测量结果的影响，例如温度、湿度以及空气流动等。任何这些因素的变化都可能导致测量值的波动。因此，在调节探针时，确保操作环境稳定，也是确保接触角测量结果准确性的重要步骤。接触角测量仪探针的调节是确保实验数据可靠性的基础。通过合理的调整方法和操作技巧，能够有效地提高测量精度，并保证每次实验结果的一致性。在实际操作中，专业人员应根据仪器的具体要求和操作手册，谨慎调整探针的各项参数，避免因不当调整导致测量误差。

2026-01-09 18:30:28开尔文探针扫描系统是什么: 开尔文探针扫描系统是一项在电学测试领域中广泛应用的先进设备，主要用于精确测量材料或电子器件中的微小电流、电压差异。这一技术的出现不仅极大地提升了电子工程和材料研究的精度，也为各类微电子器件的开发和性能优化提供了有力支撑。本文将详细介绍开尔文探针扫描系统的工作原理、核心组成、应用领域以及未来发展趋势，旨在帮助专业人士和相关科研人员深入理解这一关键技术的作用与价值。一、开尔文探针扫描系统的基本概述开尔文探针扫描系统（Kelvin Probe System）是一种高精度电子测量工具，以其能够在微米甚至纳米级尺度上进行电学参数的采集而闻名。其核心理念源自开尔文电桥原理，结合精密机械操控和电子信号处理技术，实现对被测对象的低接触电阻测量。传统的电阻测量方法在微电子器件中常受到接触电阻的干扰，而开尔文技术通过双探针设计，将电流和测量端分离，有效消除接触电阻的影响，从而获得更加真实的电学参数。二、工作原理详解开尔文探针扫描系统的核心在于其特殊的探针设计。通常由两个探针组成：一个用作电流输送，另一个则专门负责电势测量。两个探针在被测样品表面以微米级的精度接触，通过精确控制探针的位置和压力，确保测量的稳定性与重复性。在测量过程中，系统会施加一个已知电压或电流，并监控被测对象的电势变化。通过计算两者差值，系统可以得出样品中的微小电压差或电阻变化。除此之外，开尔文扫描系统配备了高度自动化的机械装置和先进的电子信号处理模块，使得整个测量过程能够实现快速、准确的扫描。进一步扩展的版本还包括温度控制、环境监控等功能，以应对不同实验环境的需求。三、应用领域开尔文探针扫描系统在多个工业和科研领域中具有不可替代的作用。例如，在半导体制造中，它被用来检测晶圆中的电阻变化、分析微电子器件的电性能，从而协助制造商提高芯片质量。在新材料研发方面，其能精确捕捉纳米结构的电学特性，为新型导电材料和半导体材料的研究提供数据支持。在学术研究中，科研人员借助此系统分析复杂二维材料的电子行为、研究界面电阻等关键参数。医疗器械制造、传感器开发和环境监测等行业也在不断探索开尔文扫描技术的潜力。它的高灵敏度和高精度特性使得这些行业的产品能够达到更高的性能水平，满足日益增长的品质要求。四、优势分析相较于传统的电学测量手段，开尔文探针扫描系统具有多项显著优势。，它能显著降低接触电阻带来的误差，为微结构电参数的测定提供准确依据。第二，自动化程度高，操作简便，适合批量检测和快速样品筛查。第三，系统的高空间分辨率使得微米乃至纳米级的电学特性成为可能，极大推动了纳米科技和微电子领域的发展。五、未来发展方向随着科技的不断演进，开尔文探针扫描系统正在向智能化、多功能化方向发展。集成机器学习算法的信号分析模块逐步出现，提升测量数据的精度及分析效率。微机械制造技术的提升，使得探针阵列更加密集和灵活，可以同时进行多点扫描，加快检测速度。在环境适应性方面，便携式和现场检测版本的研发也在进行中，方便在复杂环境中进行快速检测。未来，开尔文扫描技术有望结合其他新兴技术，如超声、光谱分析等，形成更完善的多模态检测平台，为微电子、材料科学、生命科学等多个领域带来深远影响。结语作为一种基于电学原理的高精度测量技术，开尔文探针扫描系统在现代电子和材料科学中扮演着不可替代的角色。其独特的测量方法、广泛的应用范围以及不断创新的技术发展，使其成为科研和工业检测中的核心工具之一。随着技术的不断成熟，未来开尔文扫描系统将在提升微观电子性能、推动新材料研发以及实现更智能化检测方面发挥更大的作用。

2026-01-12 14:00:26开尔文探针扫描系统是什么: 开尔文探针扫描系统是一项在电学测试领域中广泛应用的先进设备，主要用于精确测量材料或电子器件中的微小电流、电压差异。这一技术的出现不仅极大地提升了电子工程和材料研究的精度，也为各类微电子器件的开发和性能优化提供了有力支撑。本文将详细介绍开尔文探针扫描系统的工作原理、核心组成、应用领域以及未来发展趋势，旨在帮助专业人士和相关科研人员深入理解这一关键技术的作用与价值。一、开尔文探针扫描系统的基本概述开尔文探针扫描系统（Kelvin Probe System）是一种高精度电子测量工具，以其能够在微米甚至纳米级尺度上进行电学参数的采集而闻名。其核心理念源自开尔文电桥原理，结合精密机械操控和电子信号处理技术，实现对被测对象的低接触电阻测量。传统的电阻测量方法在微电子器件中常受到接触电阻的干扰，而开尔文技术通过双探针设计，将电流和测量端分离，有效消除接触电阻的影响，从而获得更加真实的电学参数。二、工作原理详解开尔文探针扫描系统的核心在于其特殊的探针设计。通常由两个探针组成：一个用作电流输送，另一个则专门负责电势测量。两个探针在被测样品表面以微米级的精度接触，通过精确控制探针的位置和压力，确保测量的稳定性与重复性。在测量过程中，系统会施加一个已知电压或电流，并监控被测对象的电势变化。通过计算两者差值，系统可以得出样品中的微小电压差或电阻变化。除此之外，开尔文扫描系统配备了高度自动化的机械装置和先进的电子信号处理模块，使得整个测量过程能够实现快速、准确的扫描。进一步扩展的版本还包括温度控制、环境监控等功能，以应对不同实验环境的需求。三、应用领域开尔文探针扫描系统在多个工业和科研领域中具有不可替代的作用。例如，在半导体制造中，它被用来检测晶圆中的电阻变化、分析微电子器件的电性能，从而协助制造商提高芯片质量。在新材料研发方面，其能精确捕捉纳米结构的电学特性，为新型导电材料和半导体材料的研究提供数据支持。在学术研究中，科研人员借助此系统分析复杂二维材料的电子行为、研究界面电阻等关键参数。医疗器械制造、传感器开发和环境监测等行业也在不断探索开尔文扫描技术的潜力。它的高灵敏度和高精度特性使得这些行业的产品能够达到更高的性能水平，满足日益增长的品质要求。四、优势分析相较于传统的电学测量手段，开尔文探针扫描系统具有多项显著优势。，它能显著降低接触电阻带来的误差，为微结构电参数的测定提供准确依据。第二，自动化程度高，操作简便，适合批量检测和快速样品筛查。第三，系统的高空间分辨率使得微米乃至纳米级的电学特性成为可能，极大推动了纳米科技和微电子领域的发展。五、未来发展方向随着科技的不断演进，开尔文探针扫描系统正在向智能化、多功能化方向发展。集成机器学习算法的信号分析模块逐步出现，提升测量数据的精度及分析效率。微机械制造技术的提升，使得探针阵列更加密集和灵活，可以同时进行多点扫描，加快检测速度。在环境适应性方面，便携式和现场检测版本的研发也在进行中，方便在复杂环境中进行快速检测。未来，开尔文扫描技术有望结合其他新兴技术，如超声、光谱分析等，形成更完善的多模态检测平台，为微电子、材料科学、生命科学等多个领域带来深远影响。结语作为一种基于电学原理的高精度测量技术，开尔文探针扫描系统在现代电子和材料科学中扮演着不可替代的角色。其独特的测量方法、广泛的应用范围以及不断创新的技术发展，使其成为科研和工业检测中的核心工具之一。随着技术的不断成熟，未来开尔文扫描系统将在提升微观电子性能、推动新材料研发以及实现更智能化检测方面发挥更大的作用。

2026-01-09 18:30:28开尔文探针扫描系统怎么操作: 开尔文探针扫描系统作为先进的微电子检测工具，在半导体行业中扮演着至关重要的角色。其操作流程的掌握，不仅关系到检测的准确性，也直接影响到设备的维护效率和检测成本。本篇文章将详细介绍开尔文探针扫描系统的操作步骤，帮助用户理解从准备工作到实际操作的每一个环节，确保在实际应用中能够得心应手，大化该系统的性能优势。一、准备工作及设备调试在操作开尔文探针扫描系统之前，首先要确保设备处于良好的工作状态。这包括检查探针针头的完整性和清洁度，确认扫描平台的稳定性，以及确保连接线的牢固。调试过程中应根据被测样品的尺寸和材料类型，设置合适的扫描参数，如探针压力、电压范围和扫描速度。这一环节的准备工作至关重要，它直接关系到测量数据的准确性和设备的使用寿命。二、样品准备与放置样品的准备是确保扫描效果的基础。应确保样品表面干净，无油污、灰尘或氧化层。对样品进行必要的放置和固定，确保其在扫描过程中稳定不动。对于不同类型的样品，可能需要采用专用夹具或者基座，以避免在扫描时出现偏移或震动。确保样品平整、无弯曲，也是确保扫描数据可靠的重要因素。三、参数设置与软件操作启动扫描系统前，需要在控制软件中设置相关参数。例如，设定扫描区域、点间距、探针的接触压力以及扫描次数等。合理的参数设置可以显著提高扫描效率和数据质量。用户应熟悉软件界面，通过菜单进行参数调节，并利用系统提供的预览功能，确认扫描区域和探针姿态。确保软件版本为新以获取优化算法和修复已知问题。四、执行扫描流程在参数确认无误后，进行实际扫描。系统会自动控制探针运动轨迹，逐点进行触测，采集电阻、电流或电压数据。操作过程中，应密切观察系统状态，确保没有异常振动或偏差发生。多次测试可以验证探针与样品的接触稳定性，避免误差累积。合理安排扫描路径和避免重复扫描，有助于节省时间并提高整体效率。五、数据分析与后续处理完成扫描后，获得的原始数据需要进行分析处理。利用软件中的分析工具，可以生成电阻图谱、曲线或者三维模型。这一步骤对于识别样品中的缺陷、微裂纹或其他微观特征非常重要。结合行业经验，合理解释数据，结合其他检测手段，提出可靠的判断依据。必要时对存在疑问的数据进行二次扫描或重新调节参数。六、维护与系统优化操作结束后，应对设备进行清洁维护，包括清除探针上的残留导电物和污染物，检查机械部件的润滑状况。定期校准探针，确保其精度符合技术要求。根据使用经验优化参数设置，提高操作效率。保存操作记录和故障报告，有助于后续的设备维护和技术提升。结束语掌握开尔文探针扫描系统的操作流程，不仅能够确保检测结果的可靠性，还能提高整体工作的效率。通过科学的准备、合理的参数设置和细致的维护，用户可以充分发挥系统的性能优势，为微电子行业的研发与制造提供坚实的技术支持。在未来，随着技术的不断发展，开尔文探针扫描系统的操作也将变得更加智能化，为行业带来更高的精度和更强的适应性。

俄歇纳米探针资讯

俄歇纳米探针产品

俄歇纳米探针问答

联系我们

关注我们