2025-01-21 09:35:25氦气分子聚焦离子束
氦气分子聚焦离子束技术利用氦气分子作为离子源,通过聚焦和加速形成高能离子束。具有高分辨率、高精度、低损伤等特点。广泛应用于半导体加工、材料改性、纳米制造等领域,实现微纳尺度上的精确加工和改性。对推动纳米技术和材料科学发展具有重要意义。

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2022-11-25 16:10:30离子束刻蚀(IBE)技术研究
离子束刻蚀(IBE)技术研究 1.离子束刻蚀(IBE)技术的原理?离子束刻蚀(IBE,Ion Beam Etching)也称为离子铣(IBM,Ion Beam Milling),也有人称之为离子溅射刻蚀,是利用辉光放电原理将氩气分解为氩离子,氩离子经过阳极电场的加速对样品表面进行物理轰击,以达到刻蚀的作用。刻蚀过程即把Ar气充入离子源放电室并使其电离形成等离子体,然后由栅极将离子呈束状引出并加速,具有一定能量的离子束进入工作室,射向固体表面轰击固体表面原子,使材料原子发生溅射,达到刻蚀目的,属纯物理刻蚀。工件表面有制备沟槽的掩膜,最后裸露的部分就会被刻蚀掉,而掩膜部分则被保留,形成所需要的沟槽图形。离子束刻蚀使高方向性的中性离子束能够控制侧壁轮廓,优化纳米图案化过程中的径向均匀性和结构形貌。另外倾斜结构可以通过倾斜样品以改变离子束的撞击方向这一独特能力来实现。在离子束刻蚀过程中,通常情况下,样品表面采用厚胶作为掩模层,刻蚀期间富有能量的离子流会使得基片和光刻胶过热。为了便于后面光刻胶的剥离清洗,一般需要对样品台进行冷却处理,使整个刻蚀过程中温度控制在一个比较好的范围。 图1 离子束刻蚀设备结构图图2 离子束刻蚀工艺原理图 2.离子束刻蚀(IBE)适合的材料体系?可用于刻蚀加工各种金属(Ni、Cu、Au、Al、Pb、Pt、Ti等)及其合金,以及非金属、氧化物、氮化物、碳化物、半导体、聚合物、陶瓷、红外和超导等材料。目前离子束刻蚀在非硅材料方面优势明显,在声表面波、薄膜压力传感器、红外传感器等方面具有广泛的用途。 3. 离子束刻蚀(IBE)技术的优点和缺点?a 优点: (1)方向性好、无钻蚀、陡直度高; (2)刻蚀速率可控性好,图形分辨率高,可达0.01um; (3)属于物理刻蚀,可以刻蚀各种材料(Si、SiO2、GaAs、Ag、Au、光刻胶等); (4)刻蚀过程中可改变离子束入射角来控制图形轮廓,加工特殊的结构;b 缺点: (1)刻蚀速率慢、效率比ICP更低; (2)难以完成晶片的深刻蚀; (3)属于物理刻蚀,常常会有过刻的现象。 4.反应离子束刻蚀(RIBE)技术简介及优点?反应离子束刻蚀(RIBE)是在离子束刻蚀的基础上,增加了腐蚀性气体,因此它不但保留了离子束物理刻蚀能力,还增加了腐蚀性气体(氟基气体、O2)离化后对样品的化学反应能力(反应离子束刻蚀:RIBE),也支持腐蚀性气体非离化态的化学辅助刻蚀能力(化学辅助离子束刻蚀:CAIBE),对适用于化学辅助的材料可以大幅度提升刻蚀速率,提高刻蚀质量。 5. 离子束刻蚀(IBE)的案例展示  典型应用:1、三族和四族光学零件2、激光光栅3、高深宽比的光子晶体刻蚀4、在二氧化硅、硅和金属上深沟刻蚀5、微流体传感器电极6、测热式微流体传感器
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2024-12-30 13:30:12双聚焦磁质谱仪图片
双聚焦磁质谱仪图片:技术原理与应用 双聚焦磁质谱仪(Dual-Focusing Mass Spectrometer)是一种高精度、高分辨率的仪器,广泛应用于化学分析、环境监测、药物研究等多个领域。本文将详细介绍双聚焦磁质谱仪的工作原理、技术优势以及其在科学研究中的重要应用,同时提供相关的仪器图片,帮助读者更好地理解这一先进设备的构造和功能。 双聚焦磁质谱仪的工作原理 双聚焦磁质谱仪通过对离子的质量-电荷比(m/z)进行高精度测量,实现对复杂样本中微量物质的定性和定量分析。其核心原理是利用两个磁场对离子进行聚焦,从而提高分析的分辨率和准确性。 在典型的质谱分析中,离子源首先将样品转化为带电粒子,经过加速后,这些带电离子进入一个磁场。在个聚焦阶段,磁场会对离子按质量进行偏转,不同质量的离子会偏离不同的轨迹。然后,这些离子进入第二个聚焦系统,通过进一步的聚焦和分析,实现对离子群体的高效分离和检测。,质谱仪通过检测器记录离子的信号强度,从而获得质谱图。 双聚焦磁质谱仪通过优化两个磁场的设计,不仅提高了分辨率,还降低了离子信号的背景噪声,使得对复杂样本的分析更加。 双聚焦磁质谱仪的技术优势 高分辨率 双聚焦磁质谱仪的大优势之一就是其的分辨率。相比传统的单聚焦磁质谱仪,双聚焦技术能够更好地分离质量相近的离子,使得分析结果更加精确。这对于复杂的化学混合物或低浓度样品的分析尤为重要。 更强的灵敏度 双聚焦磁质谱仪具有较低的背景噪声,可以在更低的信号强度下进行精确检测。这使得它在微量成分分析、环境监测及药物检测中具有无可比拟的优势。 广泛的应用范围 由于其优异的性能,双聚焦磁质谱仪在生命科学、药物分析、食品安全、环境监测等领域都有着广泛的应用。例如,在临床诊断中,它可以用来检测血液样本中的微量毒素或药物成分;在环境科学中,它可以帮助科学家监测水质、空气质量中的有害物质。 双聚焦磁质谱仪的典型应用 生物医学研究 在生物医学研究中,双聚焦磁质谱仪用于蛋白质组学、代谢组学以及药物代谢的研究。通过高精度测量生物大分子和小分子药物的质量信息,研究人员可以了解药物在体内的代谢过程,进而改进药物的治果和安全性。 食品安全检测 双聚焦磁质谱仪在食品安全检测中发挥着重要作用。它能够有效检测食品中的添加剂、污染物以及微量的有害物质,从而确保食品的质量和安全。 环境污染监测 双聚焦磁质谱仪可用于检测空气、水体和土壤中的污染物,尤其是微量重金属和有机污染物的分析。这为环境保护提供了有力的技术支持,能够帮助相关部门监测和治理环境污染。 结语 双聚焦磁质谱仪凭借其的技术性能,已经成为现代科学研究中不可或缺的分析工具。其高分辨率和高灵敏度使其在多个领域中发挥着重要作用,无论是在基础科研,还是在工业应用中,都展现出了极大的价值。随着技术的不断发展,未来双聚焦磁质谱仪将在更广泛的应用领域中发挥更大作用,为科学技术的进步提供强有力的支持。
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2022-08-16 21:44:30福州大学离子束刻蚀机顺利验收
福州大学离子束刻蚀机顺利验收烈日炎炎,热情满心间!后疫情时代,NANO-MASTER工程师步履不停,一站接一站为客户提供设备安装调试服务。首站福州大学,那诺-马斯特工程师已顺利安装验收NIE-3500型离子束刻蚀机!性能配置:离子束刻蚀机用于刻蚀金属和介质,z大可支持6”晶圆。配套美国考夫曼-罗宾逊 KDC160离子枪,650mA,100-1200V。刻蚀速率:~250A/min对Au;刻蚀均匀度:对4”片,片内均匀性优于±3%,重复性优于±3%。样品台可旋转,转速0-30RPM精确可控;可任意角度倾斜,支持斜齿刻蚀;带水冷功能,刻蚀后易去除光刻胶。极限真空12小时可达6x10-7Torr,15分钟可达10-6Torr量级的真空;采用双真空计,长期可靠,使用稳定。14”不锈钢立方腔体,配套一台主控计算机,20”触摸屏监控,配合Labview软件,实现计算机全自动工艺控制,并可在电源中断情况下安全恢复;完全的安全联锁;支持百级超净间使用。验收培训:安装调试视频:
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2020-07-14 10:37:29JIB-4000 聚焦离子束加工观察系统升级为JIB-400
JIB-4000 聚焦离子束加工观察系统升级为JIB-4000PLUSJIB-4000 聚焦离子束加工观察系统升级了,新型号:JIB-4000PLUS。该设备为单束FIB装置,不仅可以对样品表面进行SIM观察 、研磨、及碳和钨等沉积,还可以为TEM制备薄膜样品和截面样品;可选3D观察功能、自动TEM样品制备功能,能对应多种制样需求。
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2023-07-12 16:29:51 聚焦慕尼黑上海分析生化展!
离子色谱是高效液相色谱的一种,主要用于无机阴离子与无机阳离子的定性分析和定量分析,具有简便、高效、高灵敏度和重现好的特点,广泛应用于环境、食品、石油化工等领域,并在许多应用场景中替代了传统化学分析方法。离子色谱是近20年来发展最快的技术之一,青岛盛瀚色谱技术有限公司(以下简称“盛瀚”)作为国内专业从事离子色谱仪及其核心部件的研发、生产、销售和技术服务的企业,见证并参与了国产离子色谱技术的发展。盛瀚现有实验室台式、便携式、在线式、定制化离子色谱仪和离子色谱联用五大产品系列,并持续推出新的国产离子色谱仪产品。2023年7月11日,亚洲重要的分析、生化技术、诊断和实验室技术博览会——第十一届慕尼黑上海分析生化展(analytica China)即将于国家会展中心(上海)拉开帷幕。analytica China是业内企业全面展示新技术、产品和解决方案的平台。本届展会汇聚了上千家展商参展,盛瀚也将携带多款产品如期赴约(展位号:2.2E555)。为了让客户更方便地了解本次展会带来的新产品,7月11日上午,盛瀚将联合化工仪器网举办“慕尼黑上海分析生化展新品直播推介会”活动,通过线上直播与线下展示相结合的方式,为大家介绍盛瀚上半年上市的CIC-120+型离子色谱仪和CIC-160+型离子色谱仪这两款新品。届时,盛瀚产品经理将针对产品研发过程遇到的问题及其解决方法、产品的技术升级以及相较于同类型产品有哪些优势等问题进行分享。新品优势抢先看CIC-120+型离子色谱仪CIC-120+型离子色谱仪采用双极恒温电导检测器,可兼顾分析样品中相差四个数量级浓度的多种离子检测,一次进样即可同时进行分离、检测,分析速度快,灵敏度高。无需手动切换不同量程及多次稀释,大大减少了人工操作及因此带来的误差。CIC-D120+型离子色谱仪不仅为用户提供饮用水中常规无机阴阳离子和消毒副产物及食品中添加剂、溴酸盐、有机酸、胺的全套解决方案,在众多其他领域,同样拥有完备的应用支持。全塑化流路系统,广泛实用的应用配套方案,配合仪器自动进样系统,使得CIC-D120+型离子色谱仪不仅拥有广泛、完善、先进的应用解决能力,同时为用户带来自动化、人性化并富有乐趣的仪器应用体验。CIC-160+型离子色谱仪CIC-160+型离子色谱仪是盛瀚第三代中高端款智能化成果产品,将国家重大专项成果如全新的双极电路电导检测器、电解微膜抑制器、高压平流泵、淋洗液发生器、离子交换色谱柱等全面应用。仪器从外观到内部结构的设计都采用全新的理念,是一款全塑化免试剂型产品,可以应用于环保、石化、饮用水、食品检测等常规和痕量检测等众多领域。CIC-D160+型离子色谱仪上市重新定义行业服务新标杆,推出仪器“终身质保”服务,始终站在用户角度上解决实际问题。采用立体风热恒温式柱温箱、贴片式电路板实现集成控制设计、智能化控制系统等新技术的应用,代表了当今国产离子色谱仪在中高端款设备领域中前沿制造技术水准。盛瀚成立于2002年,20多年深耕离子色谱技术。目前盛瀚已为7000+不同行业的用户提供了完善的解决方案,产品出口到韩国、印度等72个国家和地区。本次analytica China盛瀚带来的CIC-120+型离子色谱仪和CIC-160+型离子色谱仪将为用户提供更强大的功能、更好的使用体验。欢迎大家提前锁定盛瀚色谱视频号7月11日上午10:40观看新品直播让我们共同见证精彩!
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