福州大学离子束刻蚀机顺利验收

福州大学离子束刻蚀机顺利验收

烈日炎炎，热情满心间！后疫情时代，NANO-MASTER工程师步履不停，一站接一站为客户提供设备安装调试服务。首站福州大学，那诺-马斯特工程师已顺利安装验收NIE-3500型离子束刻蚀机！

性能配置：

• 离子束刻蚀机用于刻蚀金属和介质，z大可支持6”晶圆。

• 配套美国考夫曼-罗宾逊 KDC160离子枪，650mA，100-1200V。刻蚀速率：~250A/min对Au；刻蚀均匀度：对4”片，片内均匀性优于±3%，重复性优于±3%。

• 样品台可旋转，转速0-30RPM精确可控；可任意角度倾斜，支持斜齿刻蚀；带水冷功能，刻蚀后易去除光刻胶。

• 极限真空12小时可达6x10-7Torr，15分钟可达10-6Torr量级的真空；采用双真空计，长期可靠，使用稳定。

• 14”不锈钢立方腔体，配套一台主控计算机，20”触摸屏监控，配合Labview软件，实现计算机全自动工艺控制，并可在电源中断情况下安全恢复；完全的安全联锁；支持百级超净间使用。

  
  

验收培训：

安装调试视频：

离子束刻蚀（IBE）技术研究

1.离子束刻蚀（IBE）技术的原理？

离子束刻蚀（IBE，Ion Beam Etching）也称为离子铣（IBM，Ion Beam Milling），也有人称之为离子溅射刻蚀，是利用辉光放电原理将氩气分解为氩离子，氩离子经过阳极电场的加速对样品表面进行物理轰击，以达到刻蚀的作用。刻蚀过程即把Ar气充入离子源放电室并使其电离形成等离子体，然后由栅极将离子呈束状引出并加速，具有一定能量的离子束进入工作室，射向固体表面轰击固体表面原子，使材料原子发生溅射，达到刻蚀目的，属纯物理刻蚀。工件表面有制备沟槽的掩膜，最后裸露的部分就会被刻蚀掉，而掩膜部分则被保留，形成所需要的沟槽图形。

离子束刻蚀使高方向性的中性离子束能够控制侧壁轮廓，优化纳米图案化过程中的径向均匀性和结构形貌。另外倾斜结构可以通过倾斜样品以改变离子束的撞击方向这一独特能力来实现。

在离子束刻蚀过程中，通常情况下，样品表面采用厚胶作为掩模层，刻蚀期间富有能量的离子流会使得基片和光刻胶过热。为了便于后面光刻胶的剥离清洗，一般需要对样品台进行冷却处理，使整个刻蚀过程中温度控制在一个比较好的范围。

图1 离子束刻蚀设备结构图

图2 离子束刻蚀工艺原理图

2.离子束刻蚀（IBE）适合的材料体系？

可用于刻蚀加工各种金属（Ni、Cu、Au、Al、Pb、Pt、Ti等）及其合金，以及非金属、氧化物、氮化物、碳化物、半导体、聚合物、陶瓷、红外和超导等材料。

目前离子束刻蚀在非硅材料方面优势明显，在声表面波、薄膜压力传感器、红外传感器等方面具有广泛的用途。

3. 离子束刻蚀（IBE）技术的优点和缺点？

a 优点：

 （1）方向性好、无钻蚀、陡直度高；

 （2）刻蚀速率可控性好，图形分辨率高，可达0.01um；

 （3）属于物理刻蚀，可以刻蚀各种材料（Si、SiO2、GaAs、Ag、Au、光刻胶等）；

 （4）刻蚀过程中可改变离子束入射角来控制图形轮廓，加工特殊的结构；

b 缺点：

 （1）刻蚀速率慢、效率比ICP更低；

 （2）难以完成晶片的深刻蚀；

 （3）属于物理刻蚀，常常会有过刻的现象。

4.反应离子束刻蚀（RIBE）技术简介及优点？

反应离子束刻蚀（RIBE）是在离子束刻蚀的基础上，增加了腐蚀性气体，因此它不但保留了离子束物理刻蚀能力，还增加了腐蚀性气体（氟基气体、O2）离化后对样品的化学反应能力（反应离子束刻蚀：RIBE），也支持腐蚀性气体非离化态的化学辅助刻蚀能力（化学辅助离子束刻蚀：CAIBE），对适用于化学辅助的材料可以大幅度提升刻蚀速率，提高刻蚀质量。

5. 离子束刻蚀（IBE）的案例展示  

典型应用：

1、三族和四族光学零件

2、激光光栅

3、高深宽比的光子晶体刻蚀

4、在二氧化硅、硅和金属上深沟刻蚀

5、微流体传感器电极

6、测热式微流体传感器

广西师范大学RIE反应离子刻蚀机顺利验收

近日，NANO-MASTER工程师至广西师范大学，顺利安装验收NRE-3000型RIE反应离子刻蚀系统！

详细参数：

1.  腔体：10”直径的圆柱形腔体；阳极氧化铝材质，抗腐蚀性强；上下盖设计，气动升降顶盖，一键实现上盖的开启/闭合；淋浴头设计，最佳的气流均匀分布

2. 样品台：4”样品台；冷却功能；偏压功能，支持各向异性的垂直刻蚀；

3. 质量流量控制器：4路气体，每路包含MFC、气动截止阀和不锈钢管路气体

4. 真空系统：分子泵与机械泵，4分钟内可达10-4Torr的高工艺真空度，12小时抽气后，干净腔体中的压力可达极限真空6x10-7 Torr；分子泵与工艺腔体采用直连设计方案，具有最佳的真空传导率

5. 射频电源：13.56MHz，300W，反射功率≤5W，配套自动调谐器，稳定输出功率为95%

6. 控制系统：Lab View软件控制；四级密码授权访问；压力、流量、功率等主要参数指标实时显示；20”的监控屏幕

7. 系统信息：26”×26”占地面积；铝质柜体；完全的安全联锁

8. 主要工艺参数

（1）应用范围：有机物刻蚀、硅的化合物刻蚀、光刻胶去胶等；

（2）工艺参数：4”片为例；

（3）刻蚀均匀性优于：+/-3%；

（4）Si3N4的刻蚀速率：≥50nm/min；

（5）对PR选择比：≥1.5:1；

（6）陡直度：≥82°；

（7）SiO2的刻蚀速率：≥40nm/min；

（8）对PR选择比：≥1.5:1；

（9）陡直度：≥85°。

季华实验室磁控溅射系统顺利验收

近日，NANO-MASTER工程师至季华实验室，顺利安装验收NSC-3500型磁控溅射系统！

磁控溅射系统主要用于半导体应用，同时也可以用于各种需要进行微纳工艺溅射镀膜的情形。可用于金属材料（金、银、铜、镍、铬等）的直流溅射、直流共溅射，绝缘材料（如陶瓷等）的射频溅射，以及反应溅射能力。基片可支持硅片，氧化硅片，玻璃片，以及对温度敏感的有机柔性基片等。

设备优势

01镀膜均匀性

对于最关键的镀膜的均匀性方面，对于6”硅片的金属材料镀膜，NANO-MASTER可以达到优于3%的镀膜均匀度，而一些设备只能稳定在5%甚至更高。

02设备制造工艺

在配备相似等级的分子泵及机械泵的情况下，NANO-MASTER具有更快的抽真空速率，比如可以在20-25分钟左右就达到高真空工艺，而一些设备则需要30-40分钟。腔体真空的稳定度影响镀膜的性能。

03工艺的可重复性

NANO-MASTER设备在工艺控制方面，有更高的自动化能力，通过PC控制，减少人工干预造成的工艺偏差。而一些设备要求人工配合，导致不同人采用同样的工艺做出来的效果不同，甚至同一个人在不同时间运行相同的工艺做出来的效果也不同。

04设备紧凑性

一些设备在满足相同性能情况下，由于加工的精密度方面的差距，造成设备比较庞大，占地面积较大，使得实验室宝贵的空间被占用严重。而NANO-MASTER设备相对而言具有更紧凑的设计，占地面积也较小。

05设备稳定性

进口设备的维护率较低，可以保证设备较长时间的稳定运行，而一些设备的故障率高，不利于设备的稳定使用，经常因为故障影响实验的正常进行，影响科研进度。

近日，延边朝鲜族自治州检验检测中心（国家参茸产品质量监督检验中心）与青软青之合作建设的实验室信息管理系统（LIMS）项目顺利验收，该项目有机结合了先进的信息化技术和实验室管理手段，立足于公共实验平台建设和使用的需要，以实现检测工作的管理规范化和运作现代化。

基于前期对延边朝鲜族自治州检验检测中心（国家参茸产品质量监督检验中心）进行的全面实地调研和需求分析，青软青之组建了经验丰富的开发团队，全力配合项目进行实验室信息管理系统开发工作，为用户建立了多基地、多专业的检测信息管理系统。

通过青之实验室信息管理系统King'sLIMS的建设，协同完成了国家参茸产品质量监督检验中心业务模式与质检中心综合性检验检测业务的可视化展示，实现自动化、流程化、标准化，形成互联互通、信息共享、业务协同的管理模式。通过LIMS系统对业务资源的整合，实现对全局系统各实验室的资源（包括人员、设备、实验材料、实验环境、检测技术能力等）、检验检测业务工作流程、电子原始记录、微信服务、数据查询与统计等实行统筹管理，使其能更好地为科学检验提供可靠的实验数据和精准的决策信息，有效提高技术保障水平和工作效率，实现了检测中心管理水平和行业竞争力的全面提升。 

近日，由青软青之承接的宁德市产品质量检验所实验室信息管理系统（LIMS）项目完成竣工验收工作。

项目背景

宁德市产品质量检验所作为专业从事产品检测、质量鉴定、技术咨询、监督抽查、标准制修定等工作的权威质检机构，同时需要满足市场监管总局的食品国抽的任务。随着各项业务的快速开展，实验室的业务量也不断增加，实现检测业务的“规范化、自动化、信息化、整体化”成为检验所的重中之重。

实施目标

青软青之与宁德市产品质量检验所历经4个月的紧密合作，搭建的青之LIMS平台经历了项目启动、需求调研、蓝图设计、配置实现、功能测试、试运行与上线等一系列工作，为宁德市产品质量检验所建立起了一套完整全面的、适用于其自身发展的实验室信息管理平台，实现了实验室全流程的自动化、无纸化办公。

通过本次项目的成功实施，实现了对检测结果的记录、存储、查询以及质量追溯等多维度需求，宁德市产品质量检验所检验业务的自动化程度和规范化管理水平均得到有效提升。

       近日，青软青之与新疆生产建设兵团第三师食品药品检验所共建的实验室信息管理系统(LIMS)项目顺利完成验收工作。

       青软青之与新疆生产建设兵团第三师食品药品检验所经过三个多月的紧密合作，目前，搭建的LIMS平台已顺利完成测试、上线、验收等一系列工作。

       本次LIMS平台项目实施范围主要涉及新疆生产建设兵团第三师食品药品检验所的样本部、检测部、验证报告部等部门。青之LIMS系统通过检验业务流程管理、实验室资源管理、质量保证和质量控制管理、客户服务平台、统计查询等功能，全面覆盖新疆生产建设兵团第三师食品药品检验所各领域、各类型的检验检测业务，显著提升实验室食品药品检验检测工作的效率，助力新疆生产建设兵团第三师食品药品检验所实现实验室一体化管理，为新疆生产建设兵团第三师食品药品检验所推动实验室信息化建设、提高检验业务规范化管理水平打下坚实的基础。 

浙江师范大学生化学院种子资源库及低温实验操作间项目于6月22日顺利通过验收！

近日，NANO-MASTER工程师至浙江中宁硅业有限公司，顺利安装验收NPE-3500型PECVD等离子体化学气相沉积设备！

NANO-MASTER的PECVD系统能够沉积高质量的SiO2、Si3N4、CNT、DLC和SiC等薄膜。可应用于等离子诱导表面改性、等离子清洗、等离子聚合等。根据不同应用，可选用RF、HCP、ICP或MW微波等多种规格的离子源。标准样品台尺寸有6”和8”可选，最高可定制到16”或者其他更大的尺寸，样品台可提供RF、Pulse DC或DC偏压。样品台可提供电阻加热或红外灯加热。

系统标配涡轮分子泵和机械泵，极限真空到5*10-7Torr，腔体压力调节通过PC自动控制涡轮速度而全自动调节，快速稳定。

工艺过程通过触摸监控屏幕和Labview软件，可实现全自动的PC控制，具有高度的可重复性。系统具有完整的安全联锁，提供四级密码授权访问保护。能直接研发和量产应用。

NANO-MASTER的PECVD等离子体化学气相沉积选配项

验收培训

        近日，黄冈大别山检测认证有限公司对青之实验室信息管理系统(LIMS)升级改造进行了验收测试。

       本次LIMS系统升级针对黄冈大别山检测认证有限公司实际业务提供了面向专业第三方检测机构且集检测业务管理，资源管理，质控管理，数据管理，报告管理等诸多模块为一体的实验室信息管理系统。同时，成功对接国抽数据上报系统，解决了实验室人员在数据录入时的重复工作问题，大幅度提高了工作效率， 高 效 便捷的缩短了任务周期。在整个实验室信息管理系统（LIMS）升级的过程中，平台功能、性能和稳定性，数据安全性方面都有了很大提升和完善，青之LIMS系统通过对检测各关键环节的信息化管理融入黄冈大别山检测认证有限公司经营管理的环节中，将会全面提高合规水平与客户服务能力。

客户简介：

       黄冈大别山检测认证有限公司于2016年03月08日成立，是经湖北省财政厅和湖北省质量技术监督局批准同意的具有独立法人资格的国有综合性检验检测机构。2018年7月30日，经黄冈市财政局和国资委批准，成为黄冈白潭湖投资发展有限公司的全资子公司。黄冈大别山检测认证有限公司拥有一批技术优良、结构合理、具有敬业创新精神的技术团队与服务人员，为客户提供公正、快捷、优质、 高 效 的技术服务，能够为政府部门、企业、消费者提供一站式的全面质量解决方案，满足其对产品品质的更高要求。公司专业从事产品的检测、检验及授权仲裁鉴定、认证咨询服务。检验能力涵盖食品 及相关产品、轻工日用品、能源化工产品、机械电气、建筑及装饰材料等30大类，具备1288个检验产品，3795个检验参数，检验能力位居湖北省检验机构前列。

       近日，湖北省普林标准技术服务有限公司与青软青之共建的实验室信息管理系统(LIMS)项目顺利通过验收，并正式上线。

      湖北省普林标准技术服务有限公司是一家提供第三方检测服务和专业技术咨询服务的综合型科技公司，为食品、日用品、化妆品、健康相关产品（消毒、涉水）、药品、医 疗器械、公共卫生、环境等行业和相关领域提供一站式的服务方案。普林标准技术服务有限公司总部设在武汉，拥有2000多平米符合ISO17025国际标准要求的综合型实验室，公司具备行业内先进的检测仪器设备如GC-MS, LC-MS, ICP-MS, ICP-OES, AFS等，可为客户提供从产品研发、标准制定、人员培训、质量检测、包装设计审核等一条龙服务。

       随着各项业务的快速开展，湖北省普林标准技术服务有限公司的业务量在不断增加，部门之间的信息互通的需求越来越强烈，为此，青软青之紧密贴合用户的需求为其打造了跨部门、跨平台的综合信息管理平台。青之实验室信息管理系统(LIMS)在整合了耗材、设备和人力资源等多个部门的资产管理的基础上，提供了检测业务流程管理、质量管理、数据标准管理、数据查询分析、原始记录无纸化等功能，大大提高了管理的精细化和自动化程度，有力提升了实验室的管理效率，释放实验室的工作效能，为实验室管理者做出科学性决策提供依据。