- 2025-01-10 17:03:54MEMS技术
- MEMS技术是微机电系统的简称，它利用微细加工技术在微小尺度上制造机械和电子元件。该技术融合了硅基微加工、精密机械、电子学、光学、材料科学、生物化学等多种学科，具有体积小、功耗低、集成度高、性能稳定可靠等特点。MEMS技术在传感器、执行器、微系统等领域有广泛应用，如加速度传感器、微陀螺仪、微喷墨打印头等，对现代科技和工业发展具有重要意义。
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