2025-01-10 17:04:57双束电镜FIB

双束电镜FIB（Focused Ion Beam）是一种集成了离子束刻蚀与电子束成像功能的高级分析仪器。它利用聚焦的高能离子束对样品进行微纳加工，如切割、沉积和蚀刻，同时结合电子束实现高分辨率成像与成分分析。FIB技术广泛应用于半导体器件的故障分析、材料科学的微观结构研究以及纳米技术的精确制造中。其高精度、高效率的特点使得FIB成为材料科学与微纳技术领域不可或缺的科研工具。

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