- 2025-03-06 15:48:44MPCVD
- MPCVD（微波等离子体化学气相沉积）是一种先进的材料合成技术。它利用微波能量激发气体等离子体，产生高温、高活性的反应环境，使原料气体在基体表面发生化学反应，从而沉积出高质量的薄膜材料。MPCVD技术具有沉积速率快、薄膜质量高、可制备复杂形状和大面积薄膜等优点，广泛应用于金刚石、碳化硅等硬质薄膜的合成，以及半导体、光学、生物医学等领域的功能薄膜制备。
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