- 2025-01-24 09:32:01光刻机反射镜
- 光刻机反射镜是光刻机中的关键组件之一，主要用于引导并精确控制光线在硅片上的投射。它具备高精度、高反射率及优异的热稳定性，确保光刻过程中光线的准确聚焦与定位。反射镜的表面经过特殊工艺处理，以达到纳米级的平整度，从而满足先进半导体制造工艺对分辨率和套刻精度的极高要求。在光刻作业中，反射镜的性能直接影响芯片的良率和生产效率，是现代集成电路制造不可或缺的重要元件。
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